[发明专利]一种二极管酸洗处理系统有效
申请号: | 201810491382.0 | 申请日: | 2018-05-21 |
公开(公告)号: | CN108550539B | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 李慧;傅左强 | 申请(专利权)人: | 邳州市安达电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 | 代理人: | 卢强 |
地址: | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二极管 酸洗 处理 系统 | ||
1.一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:包括筒体(1)、气冷模块(2)、水冷模块(3)、尾气处理箱(4)和气压升降模块(5);所述气压升降模块包括上底板(51)、下底板(52)、气压缸(53)和一号滑动伸缩杆(54);所述上底板(51)通过气压缸(53)与下底板(52)固定连接,所述一号滑动伸缩杆(54)一端与上底板(51)固定连接,一号滑动伸缩杆(54)另一端与下底板(52)固定连接;所述筒体(1)通过一号固定杆(55)与上底板(51)顶部固定连接;筒体(1)通过一号固定板(56)放置在下底板(52)上;所述水冷模块(3)环绕在筒体(1)外壁上,所述气冷模块(2)安装在筒体(1)内部;所述筒体(1)底部固定安装酸洗箱(6);筒体(1)顶部中心位置处开设有一号进气口(11),筒体(1)侧壁设有开合门(12);筒体(1)底部开设有一号出气口(13),筒体(1)通过软管(14)与尾气处理箱(4)固定连接;所述尾气处理箱(4)固定安装在下底板(52)上。
2.根据权利要求1所述的一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述水冷模块(3)包括第一电机(31)、齿轮轴(32)、环形板(33)、齿条(34)和螺旋管(35);所述第一电机(31)固定安装在下底板(52)上;所述齿轮轴(32)通过轴承与第一电机(31)固定连接;所述环形板(33)通过齿条(34)与齿轮轴(32)的啮合转动;所述环形板(33)上固定安装有螺旋管(35);所述螺旋管(35)环绕在筒体(1)外壁上。
3.根据权利要求1所述的一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述气冷模块(2)包括一号空心转轴(21)、一号转动盘(22)、转动单元(23)、二号空心转轴(24)、一号管(25)和喷头(26);所述一号空心转轴(21)一端通过转动轴承固定安装在筒体(1)顶部,一号空心转轴(21)与一号进气口(11)相连通;一号空心转轴(21)另一端与一号转动盘(22)固定连接;所述一号转动盘(22)内部设有腔室;所述转动单元(23)通过二号空心转轴(24)固定安装在一号转动盘(22)内壁上;所述二号空心转轴(24)上设有三号进气口(241);所述一号转动盘(22)顶部设有二号进气口(221),所述二号进气口(221)连通一号空心转轴(21)和二号空心转轴(24);所述一号转动盘(22)底部设有二号出气口(222);所述喷头(26)通过一号管(25)与一号转动盘(22)连通。
4.根据权利要求3所述的一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述转动单元(23)包括一号转动板(231)、一号转动轴(232)和缓冲单元(7);所述缓冲单元(7)通过一号转动轴(232)固定安装在一号转动盘(22)内壁上;所述一号转动板(231)一端固定安装在二号空心转轴(24)上,一号转动板(231)另一端通过橡胶布(233)与一号转动盘(22)侧壁连接;一号转动板(231)的截面为球弧形。
5.根据权利要求4所述的一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述缓冲单元(7)包括凸轮(71)、扭簧(72);所述凸轮(71)与一号转动轴(232)转动连接;所述扭簧(72)位于一号转动轴(232)与凸轮(71)之间且扭簧(72)套设在一号转动轴(232)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造