[发明专利]一种二极管酸洗处理系统有效

专利信息
申请号: 201810491382.0 申请日: 2018-05-21
公开(公告)号: CN108550539B 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 李慧;傅左强 申请(专利权)人: 邳州市安达电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 代理人: 卢强
地址: 221300 江苏省徐州市邳州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 二极管 酸洗 处理 系统
【权利要求书】:

1.一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:包括筒体(1)、气冷模块(2)、水冷模块(3)、尾气处理箱(4)和气压升降模块(5);所述气压升降模块包括上底板(51)、下底板(52)、气压缸(53)和一号滑动伸缩杆(54);所述上底板(51)通过气压缸(53)与下底板(52)固定连接,所述一号滑动伸缩杆(54)一端与上底板(51)固定连接,一号滑动伸缩杆(54)另一端与下底板(52)固定连接;所述筒体(1)通过一号固定杆(55)与上底板(51)顶部固定连接;筒体(1)通过一号固定板(56)放置在下底板(52)上;所述水冷模块(3)环绕在筒体(1)外壁上,所述气冷模块(2)安装在筒体(1)内部;所述筒体(1)底部固定安装酸洗箱(6);筒体(1)顶部中心位置处开设有一号进气口(11),筒体(1)侧壁设有开合门(12);筒体(1)底部开设有一号出气口(13),筒体(1)通过软管(14)与尾气处理箱(4)固定连接;所述尾气处理箱(4)固定安装在下底板(52)上。

2.根据权利要求1所述的一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述水冷模块(3)包括第一电机(31)、齿轮轴(32)、环形板(33)、齿条(34)和螺旋管(35);所述第一电机(31)固定安装在下底板(52)上;所述齿轮轴(32)通过轴承与第一电机(31)固定连接;所述环形板(33)通过齿条(34)与齿轮轴(32)的啮合转动;所述环形板(33)上固定安装有螺旋管(35);所述螺旋管(35)环绕在筒体(1)外壁上。

3.根据权利要求1所述的一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述气冷模块(2)包括一号空心转轴(21)、一号转动盘(22)、转动单元(23)、二号空心转轴(24)、一号管(25)和喷头(26);所述一号空心转轴(21)一端通过转动轴承固定安装在筒体(1)顶部,一号空心转轴(21)与一号进气口(11)相连通;一号空心转轴(21)另一端与一号转动盘(22)固定连接;所述一号转动盘(22)内部设有腔室;所述转动单元(23)通过二号空心转轴(24)固定安装在一号转动盘(22)内壁上;所述二号空心转轴(24)上设有三号进气口(241);所述一号转动盘(22)顶部设有二号进气口(221),所述二号进气口(221)连通一号空心转轴(21)和二号空心转轴(24);所述一号转动盘(22)底部设有二号出气口(222);所述喷头(26)通过一号管(25)与一号转动盘(22)连通。

4.根据权利要求3所述的一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述转动单元(23)包括一号转动板(231)、一号转动轴(232)和缓冲单元(7);所述缓冲单元(7)通过一号转动轴(232)固定安装在一号转动盘(22)内壁上;所述一号转动板(231)一端固定安装在二号空心转轴(24)上,一号转动板(231)另一端通过橡胶布(233)与一号转动盘(22)侧壁连接;一号转动板(231)的截面为球弧形。

5.根据权利要求4所述的一种二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述缓冲单元(7)包括凸轮(71)、扭簧(72);所述凸轮(71)与一号转动轴(232)转动连接;所述扭簧(72)位于一号转动轴(232)与凸轮(71)之间且扭簧(72)套设在一号转动轴(232)上。

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