[发明专利]OLED背板的制作方法及OLED背板有效
申请号: | 201810488940.8 | 申请日: | 2018-05-21 |
公开(公告)号: | CN108538902B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 周星宇 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;程晓 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 背板 制作方法 | ||
1.一种OLED背板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1、提供衬底基板(1),在所述衬底基板(1)上形成TFT层(2),在所述TFT层(2)上形成平坦化层(3),在所述平坦化层(3)上形成数个像素电极(4);
所述TFT层(2)包括数个TFT器件(T),所述TFT器件(T)包括有源层(21),所述有源层(21)的材料为金属氧化物半导体材料;
步骤S2、在所述平坦化层(3)及数个像素电极(4)上形成像素定义层(5),在所述像素定义层(5)上对应于所述数个像素电极(4)上方形成数个像素开口(51),并在所述像素定义层(5)上对应于所述数个TFT器件(T)的有源层(21)上方形成数个遮光槽(52);
步骤S3、采用喷墨打印方式在所述数个像素开口(51)内对应形成数个OLED发光功能层(6),同时采用喷墨打印方式在所述数个遮光槽(51)内对应形成数个黑色遮光块(7),所述黑色遮光块(7)完全覆盖其下方的有源层(21)而对有源层(21)进行遮光;
所述步骤S3中形成的所述黑色遮光块(7)的材料为黑色光阻材料。
2.如权利要求1所述的OLED背板的制作方法,其特征在于,所述步骤S1中,所述有源层(21)的材料为铟镓锌氧化物、铟锌锡氧化物或铟镓锌锡氧化物。
3.如权利要求1所述的OLED背板的制作方法,其特征在于,所述步骤S1中,所述TFT器件(T)为蚀刻阻挡层型TFT器件、背沟道蚀刻型TFT器件或顶栅型TFT器件。
4.如权利要求1所述的OLED背板的制作方法,其特征在于,所述步骤S3中形成的所述数个OLED发光功能层(6)包括间隔设置的红色OLED发光功能层、绿色OLED发光功能层及蓝色OLED发光功能层;所述红色OLED发光功能层、绿色OLED发光功能层及蓝色OLED发光功能层呈顺序排列或呈阵列排列。
5.一种OLED背板,其特征在于,包括衬底基板(1)、设于衬底基板(1)上的TFT层(2)、设于所述TFT层(2)上的平坦化层(3)、设于所述平坦化层(3)上的数个像素电极(4)、设于所述平坦化层(3)及数个像素电极(4)上的像素定义层(5)、设于所述像素定义层(5)上的数个像素开口(51)和数个遮光槽(52)、分别对应设于所述数个像素开口(51)内的数个OLED发光功能层(6)以及分别对应设于所述数个遮光槽(52)内的数个黑色遮光块(7);
所述TFT层(2)包括数个TFT器件(T),所述TFT器件(T)包括有源层(21),所述有源层(21)的材料为金属氧化物半导体材料;
所述数个像素开口(51)分别对应设于所述数个像素电极(4)上方;
所述数个遮光槽(52)分别对应设于所述数个TFT器件(T)的有源层(21)上方,所述黑色遮光块(7)完全覆盖所述有源层(21)而对有源层(21)进行遮光;
所述黑色遮光块(7)的材料为黑色光阻材料。
6.如权利要求5所述的OLED背板,其特征在于,所述有源层(21)的材料为铟镓锌氧化物、铟锌锡氧化物或铟镓锌锡氧化物。
7.如权利要求5所述的OLED背板,其特征在于,所述TFT器件(T)为蚀刻阻挡层型TFT器件、背沟道蚀刻型TFT器件或顶栅型TFT器件。
8.如权利要求5所述的OLED背板,其特征在于,所述数个OLED发光功能层(6)包括间隔设置的红色OLED发光功能层、绿色OLED发光功能层及蓝色OLED发光功能层;所述红色OLED发光功能层、绿色OLED发光功能层及蓝色OLED发光功能层呈顺序排列或呈阵列排列。
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