[发明专利]玻璃微粒沉积体制造方法、玻璃母材制造方法以及玻璃微粒沉积体有效
申请号: | 201810473732.0 | 申请日: | 2018-05-17 |
公开(公告)号: | CN108947212B | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 伊藤真澄;早川正敏 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | C03B8/04 | 分类号: | C03B8/04;C03B19/14;C03B37/014 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 常海涛;孙微 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 微粒 沉积 体制 方法 制造 以及 | ||
提供一种使由后续的透明化步骤而得到的玻璃母材的内部不会产生气泡的玻璃微粒沉积体制造方法、玻璃母材的制造方法以及玻璃微粒沉积体。一种玻璃微粒沉积体M的制造方法,具有沉积步骤,在该沉积步骤中,将起始棒(11)和玻璃微粒生成用燃烧器(22)配置于反应容器(2)内,将玻璃原料导入到燃烧器(22)中,在燃烧器(22)所形成的火焰中使玻璃原料进行火焰分解反应以生成玻璃微粒(30),将所生成的玻璃微粒(30)沉积于起始棒(11)上以制作玻璃微粒沉积体M,其中将玻璃微粒沉积体M中所含的有机系异物的含量设为2ppm以下。
技术领域
本发明涉及玻璃微粒沉积体的制造方法、玻璃母材的制造方法以及玻璃微粒沉积体。
背景技术
作为使用硅氧烷作为原料并采用气相合成法将玻璃微粒沉积于起始棒来制造玻璃微粒沉积体的方法,已知有以下的现有文献中记载的方法。
专利文献1记载了使用高沸点杂质浓度低的硅氧烷原料来形成玻璃颗粒沉积体。
专利文献2记载了以液体的状态直接对原料硅氧烷进行火焰分解反应。
专利文献3记载了通过向原料环状硅氧烷中添加封端化合物,从而键合到环结构被打开的部位以防止硅氧烷彼此的进一步聚合。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本特开平9-156947号公报
[专利文献2]日本特表2000-502040号公报
[专利文献3]日本特表2001-502312号公报
发明内容
[发明要解决的问题]
然而,即使采用专利文献1至3中所记载的技术,也会发生这样的事情:在经由形成玻璃微粒沉积体之后的透明化步骤而得到的玻璃母材的内部中发现有气泡。
因此,本发明的目的在于提供一种使经由后续的透明化步骤而得到的玻璃母材的内部不会产生气泡的玻璃微粒沉积体制造方法、玻璃母材的制造方法以及玻璃微粒沉积体。
[用于解决问题的手段]
本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法具有沉积步骤,在所述沉积步骤中,将起始棒和玻璃微粒生成用燃烧器配置于反应容器内,将玻璃原料导入上述燃烧器中,在由上述燃烧器所形成的火焰中使玻璃原料进行火焰分解反应以生成玻璃微粒,将所生成的玻璃微粒沉积于上述起始棒以制作玻璃微粒沉积体,
将上述玻璃微粒沉积体中所含的有机系异物的含量设为2ppm以下。
另外,本发明的玻璃母材制造方法具有:通过上述玻璃微粒沉积体的制造方法来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造步骤、以及加热所制造的玻璃微粒沉积体以制造透明的玻璃母材的透明化步骤。
另外,本发明的玻璃微粒沉积体中的有机系异物的含量为2ppm以下。
[发明的效果]
根据本发明,可提供一种经由后续的透明化步骤而得到的玻璃母材的内部不会产生气泡的玻璃微粒沉积体。
附图简要说明
[图1]是示出了实施本发明一个实施方案的玻璃微粒沉积体制造方法的制造装置的一个实施方案的结构图。
[符号说明]
1:制造装置
2:反应容器
3:升降旋转装置
5:控制部
10:支持棒
11:起始棒
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