[发明专利]玻璃微粒沉积体制造方法、玻璃母材制造方法以及玻璃微粒沉积体有效
| 申请号： | 201810473732.0 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN108947212B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 伊藤真澄;早川正敏 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B8/04 | 分类号： | C03B8/04;C03B19/14;C03B37/014 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 常海涛;孙微 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 微粒 沉积 体制 方法 制造 以及 | ||
1.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，具有沉积步骤，在所述沉积步骤中，将起始棒和玻璃微粒生成用燃烧器配置于反应容器内，将玻璃原料导入所述燃烧器中，在由所述燃烧器所形成的火焰中使玻璃原料进行火焰分解反应以生成玻璃微粒，将所生成的玻璃微粒沉积于所述起始棒上以制作玻璃微粒沉积体，
通过设定火焰形成用气体的组成、流量，将所述玻璃微粒沉积体中所含的有机系异物的含量设为2ppm以下。
2.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，将所述有机系异物的含量设为1ppm以下。
3.根据权利要求2所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，将所述有机系异物的含量设为0.5ppm以下。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，使用硅氧烷作为所述玻璃原料。
5.根据权利要求4所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，使用八甲基环四硅氧烷(OMCTS)作为所述硅氧烷。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，将由所述燃烧器喷出的玻璃原料设为液体喷雾状态。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，将由所述燃烧器喷出的玻璃原料设为气体状态。
8.一种玻璃母材的制造方法，具有：通过权利要求1至7中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造步骤，以及加热所制造的玻璃微粒沉积体以制造透明的玻璃母材的透明化步骤。
9.一种玻璃微粒沉积体，其是通过权利要求1至7中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法制造的，其中有机系异物的含量为2ppm以下。
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