[发明专利]一种靶材的绑定方法

权利要求书

1.一种靶材的绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）准备铜背板和靶材，所述靶材为铜靶材或者钼靶材；将铟提前熔化为铟液，备用；

（2）将靶材和铜背板做好对接标识，然后在靶材非工作区域粘贴第一高温胶带，在背板非工作区域粘贴第二高温胶带；

（3）将步骤（2）处理后的靶材和铜背板背铟面向上，并列平铺放置于加热平台上，启动加热平台，均匀升温到200~240℃后保温20~40min，然后将步骤（1）铟液均匀涂抹在靶材与铜背板的背铟面工作区域，涂抹3~5 遍，每遍4~6min，靶材和铜背板上铟液的涂抹厚度均为0.4~0.8mm；

（4）采用真空吸盘将步骤（3）处理后的靶材吸起，翻转180°，按照对接标识将靶材与铜背板背铟面对接，将压块置于靶材远离铜背板的表面，观察靶材侧边是否有铟液流出，若无流出则满足要求，若流出则收集回收利用，然后将对接后的靶材冷却至室温；

（5）将步骤（4）处理后的靶材进行校平、除去高温胶带、超声波探伤、第一次清洗、抛光、第二次清洗、贴膜、包装，完成绑定。

2.根据权利要求1所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（1）所述靶材的长度2300~3500mm，宽度180~1800mm，厚度8~16mm。

3.根据权利要求1所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（2）所述第一高温胶带宽度为40~60mm，所述第二高温胶带宽度为10~20mm。

4.根据权利要求1所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（2）所述第一高温胶带和第二高温胶带的耐受温度均为220~300℃。

5.根据权利要求1所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（3）所述升温速率为1.5~3.5℃/min。

6.根据权利要求1所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（4）压块为铁块。

7.根据权利要求1、2或者6所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（4）所述压块与靶材贴合面积占靶材远离铜背板一面的面积的70%~85%，所述压块的重量是10~100kg。

8.根据权利要求1所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（5）所述的校平步骤为：对步骤（4）处理后的靶材进行数据测量，标识出翘曲度不合格的位置，然后将垫块放置于靶材翘曲部位底部，采用C型卡扣卡合在靶材两端，使用套管扳手对C型卡扣加压一定时间，以套管扳手每90度为一个旋紧单位，直至翘曲度满足要求。

9.根据权利要求1所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（5）所述第一次清洗和第二次清洗均是采用酒精进行擦拭。

10.根据权利要求1所述的靶材的绑定方法，其特征在于，步骤（5）所述包装步骤是：采用真空包装机在无尘环境下双层真空包封，放入干燥剂、温度测试纸，粘贴产品标签。