[发明专利]硬掩模用组合物及图案形成方法

说明书

本发明提供一种硬掩模用组合物及图案形成方法，该硬掩模用组合物包含苄醇(benzyl alcohol)单元与咔唑(carbazole)单元结合而成的芳香族化合物、和溶剂。通过使用硬掩模用组合物，能够形成填隙特性、耐蚀刻性提高了的硬掩模。

技术领域

本发明涉及硬掩模用组合物及图案形成方法。更详细而言，本发明涉及包含芳香族单元的硬掩模用组合物及图案形成方法。

背景技术

例如，在半导体制造、微电子等领域中，电路、配线、绝缘图案之类的结构物的集成度正在持续增大。因此，用于上述结构物的微细图案化的光刻工序也被一同开发。

一般而言，在蚀刻对象膜上涂布光致抗蚀剂而形成光致抗蚀剂层，通过曝光及显影工序而形成光致抗蚀剂图案。接着，将上述光致抗蚀剂图案用作蚀刻掩模，将上述蚀刻对象膜部分地去除，从而可以形成预定的图案。在进行对于上述蚀刻对象膜的图像转印后，上述光致抗蚀剂图案可以通过灰化(ashing)和/或剥离(strip)工序而被去除。

为了抑制上述曝光工序中由光反射引起的分辨率降低，可以在上述蚀刻对象膜和上述光致抗蚀剂层之间形成防反射涂布(anti-refractive coating；ARC)层。该情况下，会追加对于上述ARC层的蚀刻，因此上述光致抗蚀剂层或光致抗蚀剂图案的消耗量或蚀刻量可能会增加。此外，上述蚀刻对象膜的厚度增加或形成期望的图案时所需的蚀刻量增加的情况下，可能无法确保所要求的上述光致抗蚀剂层或光致抗蚀剂图案的充分的耐蚀刻性。

因此，为了确保用于形成期望的图案的光致抗蚀剂的耐蚀刻性和蚀刻选择比，可以在上述蚀刻对象膜和上述光致抗蚀剂层之间追加抗蚀剂下部膜。

上述抗蚀剂下部膜需要具有例如对于高温蚀刻工序的充分的耐蚀刻性(etchingresistance)、耐热性，此外，有必要通过例如旋涂工序以均匀的厚度形成。此外，在蚀刻对象膜存在高低差等的情况下，上述抗蚀剂下部膜优选具有充分的高低差填埋特性而平坦地形成。

韩国公开专利第10-2010-0082844号公开了抗蚀剂下部膜形成组合物的一例。

现有技术文献

专利文献

韩国公开专利第10-2010-0082844号

发明内容

所要解决的课题

本发明的一课题在于，提供能够形成具有优异的机械、化学特性且具有均匀的膜形成特性的硬掩模的硬掩模用组合物。

本发明的一课题在于，提供使用上述硬掩模用组合物的图案形成方法。

解决课题的方法

1.一种硬掩模用组合物，其包含苄醇(benzyl alcohol)单元与咔唑(carbazole)单元结合而成的芳香族化合物、和溶剂。

2.如1所述的硬掩模用组合物，上述苄醇单元与上述咔唑单元彼此直接结合。

3.如1所述的硬掩模用组合物，上述芳香族化合物包含选自由下述化学式1～化学式3所表示的化合物组成的组中的至少一种：

[化学式1]

[化学式2]

[化学式3]

(化学式1～3中，Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄各自独立地为具有碳原子数6～40且可含有杂原子的取代或非取代的芳香族烃基，