[发明专利]硬掩模用组合物及图案形成方法

权利要求书

1.一种硬掩模用组合物，其包含苄醇单元与咔唑单元结合而成的芳香族化合物、和溶剂，

所述芳香族化合物包含选自由下述化学式1～化学式3以及化学式5所表示的化合物组成的组中的至少一种：

化学式1

化学式2

化学式3

化学式5

化学式1～3中，Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄各自独立地为具有碳原子数6～40且可含有杂原子的取代或非取代的芳香族烃基，

R₁为氢、碳原子数1～4的烷基、碳原子数2～4的烯基或炔基、或具有碳原子数6～40且可含有杂原子的取代或非取代的芳香族烃基，

R₂为碳原子数1～4的亚烷基、碳原子数2～4的亚烯基或亚炔基、或具有碳原子数6～40且可含有杂原子的取代或非取代的亚芳基，

n为2～4的整数，m为1或2。

2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述苄醇单元与所述咔唑单元彼此直接连接。

3.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述化学式1～3中，Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄各自独立地选自苯基、萘基、联苯基、芘基或下述化学式4所表示的结构中：

化学式4

化学式4中，R₃为氢、碳原子数1～4的烷基、碳原子数2～4的烯基或炔基、或具有碳原子数6～40且可含有杂原子的取代或非取代的芳香族烃基。

4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述芳香族化合物包含所述化学式5以及选自由下述化学式6～19所表示的化合物组成的组中的至少一种：

化学式6

化学式7

化学式8

化学式9

化学式10

化学式11

化学式12

化学式13

化学式14

化学式15

化学式16

化学式17

化学式18

化学式19

5.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述芳香族化合物以单分子或低聚物形态提供。

6.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述芳香族化合物中，追加性的交联结合通过所述苄醇单元所包含的芳环而延长。

7.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述芳香族化合物的含量在组合物总重量中为5～60重量％。

8.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，其进一步包含芳香族聚合物、催化剂和表面活性剂中的至少一种。

9.根据权利要求8所述的硬掩模用组合物，所述芳香族聚合物为选自由芳香族醛和芳香族醇系化合物组成的组中的两种以上的缩合产物。

10.一种图案形成方法，其使用由权利要求1～9中任一项所述的硬掩模用组合物形成的抗蚀剂下层膜。