[发明专利]一种枚叶式晶圆清洗机

权利要求书

1.一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，包括设备本体(1)，所述本体(1)包括槽体(2)、进料端(3)、出料端(4)、蚀刻室(5)、冲淋室(6)、磨刷室(7)和吹干室(8)，所述槽体(2)为箱体式结构，槽体(2)两端分别设有进料端(3)和出料端(4)，进料端(3)和出料端(4)下部均设有电机(9)和传动装置(10)，所述传动装置(10)与槽体(2)中部水平设置的传送辊(11)联动，所述进料端(3)至出料端(4)水平方向依次为冲淋室(6)、蚀刻室(5)、冲淋室(6)、磨刷室(7)、冲淋室(6)和吹干室(8)，所述冲淋室(6)和蚀刻室(5)的上部均设有喷嘴(12)，冲淋室(6)下部分别设有水箱(13)和水泵(14)，水箱(13)分别与喷嘴(12)、水泵(14)连接，蚀刻室(5)下部设有药液箱(15)，药液箱(15)与喷嘴(12)连接，磨刷室(7)设有磨刷机构(16)，所述磨刷机构(16)磨刷头(17)和升降底座(18)，磨刷头(17)安装在升降底座(18)上，且与传送辊(11)齿轮联动，磨刷头(17)位于传送辊(11)上方，所述吹干室(8)内设有风刀(19)与气管(20)，风刀(19)对称安装在传送辊(11)两侧，且分别与气管(20)联通。

2.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述蚀刻室(5)的喷嘴(12)分为两段式，水平前后布置，前后段之间设有与水管连接的喷淋管，药液箱(15)与喷嘴(12)之间的管路螺旋式回转连接。

3.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述蚀刻室(5)与磨刷室(7)之间的冲淋室(6)依次分为一阶段低压冲淋、二阶段低压冲淋和中压冲淋，一阶段低压冲淋和二阶段低压冲淋的喷嘴(12)分别位于传送辊(11)两侧，且分别错开上下两侧的双喷嘴(12)。

4.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述升降底座(18)上设有马达固定座(21)，马达固定座(21)上安装有马达(22)，马达(22)与磨刷头(17)联动，磨刷头(17)端设有倾斜对称的喷淋嘴(22)，喷淋嘴(22)与水箱(13)连接。

5.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述设备本体(1)一侧设有便于维修的通道。

6.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述设备本体(1)外部连接有冷却系统装置。

7.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述水箱(13)与喷嘴(12)之间设有过滤装置。

8.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述设备本体(1)上设有进气管(23)与抽气管路(24)，进气管(23)路与抽气管路(24)循环联通。