[发明专利]三乙基镓的收集装置及其方法

说明书

本发明涉及三乙基镓的收集装置及方法，三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱依次接入主管路，三乙基镓灌装容器通过连接支路连接至主管路的前端，收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别通过进向支路和出向支路连接主管路，三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别连接尾气管路系统，真空管路系统连接至主管路的后端，氮气管路系统连接主管路；三乙基镓灌装容器和氮气管路系统置于加热系统中。将三乙基镓灌装容器中残留的三乙基镓通过真空收集至收集储罐和冷阱中，置换过程中由加热系统对三乙基镓灌装容器和真空系统管路进行加热，通过真空收集，避免三乙基镓自燃风险和对环境的影响。

技术领域

本发明涉及一种三乙基镓的收集装置及其方法，具体涉及有机金属化学气相沉积(MOCVD)中三乙基镓储存容器使用结束后内部剩余量的回收处理。

背景技术

目前，有机金属化学气相沉积(MOCVD)中三乙基镓储存于钢瓶中，使用结束后钢瓶内会有剩余，三乙基镓属于自燃化学品，直接废弃会产生安全问题，且对环境造成危害，通过真空回收可将废料收集再利用，同时消除对环境的影响。

MO源具有非常活泼的化学性质，对空气和水汽极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。因此，MO源的回收需要在密闭且无O₂、无H₂O的环境下进行。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种三乙基镓的收集装置及其方法。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

包含三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱、第二冷阱、真空管路系统以及氮气管路系统，所述三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱依次接入主管路，所述三乙基镓灌装容器通过连接支路连接至主管路的前端，所述收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别通过进向支路和出向支路连接主管路，所述三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别连接尾气管路系统，所述真空管路系统连接至主管路的后端，所述氮气管路系统连接主管路；所述三乙基镓灌装容器和氮气管路系统置于加热系统中。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，所述第一冷阱和第二冷阱置于液氮杜瓦罐中。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，所述三乙基镓灌装容器与收集储罐之间的主管路上设有阀门。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，所述收集储罐的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，所述第一冷阱的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，所述第二冷阱的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，所述氮气管路系统的接入点位于收集储罐的进向支路与出向支路之间的主管路上。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，三乙基镓灌装容器的连接支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，收集储罐的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，第一冷阱的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门。

进一步地，上述的三乙基镓的收集装置，其中，第二冷阱的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门。

本发明三乙基镓的收集方法，将第一冷阱和第二冷阱置于液氮浸泡环境中，确保第一冷阱和第二冷阱温度低于-90℃；对装置中的空气进行置换，确保无空气；