[发明专利]三乙基镓的收集装置及其方法

权利要求书

1.三乙基镓的收集装置，其特征在于：包含三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱、第二冷阱、真空管路系统以及氮气管路系统，所述三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱依次接入主管路，所述三乙基镓灌装容器通过连接支路连接至主管路的前端，所述收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别通过进向支路和出向支路连接主管路，所述三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别连接尾气管路系统，所述真空管路系统连接至主管路的后端，所述氮气管路系统连接主管路；所述三乙基镓灌装容器和氮气管路系统置于加热系统中。

2.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述第一冷阱和第二冷阱置于液氮杜瓦罐中。

3.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述三乙基镓灌装容器与收集储罐之间的主管路上设有阀门。

4.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述收集储罐的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。

5.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述第一冷阱的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。

6.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述第二冷阱的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。

7.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述氮气管路系统的接入点位于收集储罐的进向支路与出向支路之间的主管路上。

8.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：三乙基镓灌装容器的连接支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门。

9.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：收集储罐的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门；第一冷阱的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门；第二冷阱的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门。

10.利用权利要求1所述装置实现三乙基镓的收集方法，其特征在于：

将第一冷阱和第二冷阱置于液氮浸泡环境中，确保第一冷阱和第二冷阱温度低于-90℃；对装置中的空气进行置换，确保无空气；

通过真空管路系统对收集储罐进行真空处理，使收集储罐压力达到10～50kPa，使用收集储罐内的真空对三乙基镓灌装容器内的三乙基镓收集，收集储罐压力达到60～90kPa后再次进行真空处理，反复操作多次后，确保三乙基镓灌装容器内的大量三乙基镓收集转移至收集储罐内后，切断收集储罐的支路；再通过真空管路系统对第一冷阱和第二冷阱进行真空处理，由第一冷阱和第二冷阱将剩余的少量三乙基镓通过真空收集转移至低温的第一冷阱和第二冷阱中，操作过程中第一冷阱和第二冷阱温度均低于-90℃；

由加热系统对三乙基镓灌装容器和真空系统管路进行加热，控制温度为60～75℃，当三乙基镓灌装容器内压力达到0～15kPa后，通过氮气管路系统将三乙基镓灌装容器充气至100～130kPa，再次进行抽真空至0～15kPa，如此再重复多次，将三乙基镓灌装容器内的三乙基镓置换干净；

置换干净后将三乙基镓灌装容器充气至100～130kPa后，关闭阀门，三乙基镓灌装容器可拆卸；

实现将三乙基镓灌装容器中残留的三乙基镓通过真空收集至收集储罐以及第一冷阱和第二冷阱中，收集储罐收集三乙基镓灌装容器中的大量剩余三乙基镓，第一冷阱和第二冷阱在液氮浸泡的环境中收集少量残留三乙基镓，置换过程中由加热系统对三乙基镓灌装容器和真空系统管路进行加热，尾气通过尾气管路系统进行排放。