[发明专利]一种阵列基板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201810434245.3 申请日: 2018-05-03
公开(公告)号: CN108598091B 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 王幸 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 阵列 及其 制作方法
【说明书】:

发明提出了一种阵列基板及其制作方法,本发明通过在所述阵列基板上设置第一源漏极以及第二源漏极,所述第一源漏极和所述第二源漏极通过第一过孔连接,解决了显示面板下边框边窄后信号延迟的技术问题,保证了柔性显示装置的正常显示。

技术领域

本发明涉及平板显示器领域,特别涉及一种阵列基板及其制作方法。

背景技术

低温多晶硅(Low temperature poly-silicon,简称LTPS),由于其具有高的电子迁移率,可以有效的减小薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)的器件的面积,进而提升像素的开口率,增大面板显示亮度的同时可以降低整体的功耗,使得面板的制造成本大幅度降低,目前已成为液晶显示领域炙手可热的技术。

随着显示技术的不断发展,研发人员开发出了可折叠或卷起的柔性显示装置,与传统的刚性显示装置(即制作在玻璃等不可弯曲的基材上的显示装置)相比,柔性显示装置具有诸多优势,如重量轻、体积小、携带更为方便;更高的耐冲击性以及更强的抗震性能。随着显示技术的不断发展,柔性显示装置因其自身的可弯曲、可折叠特性,越来越多的应用于曲面显示领域、可穿戴显示领域等,因此,也成为近年来显示领域的关注热点。

目前,柔性显示装置主要采用有源矩阵低温多晶硅薄膜晶体管进行驱。而为了适应显示区面积提高的需求,下边框需要变的更窄并且耐弯折,由此导致现有许多柔性显示面板出现信号延迟,显示画面出现异常等不良的技术问题。本发明针对该技术问题提出了以下方案。

发明内容

本发明提供一种阵列基板及其制作方法,以解决现有显示面板出现信号延迟、显示画面异常等技术问题。

为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:

本发明提供一种阵列基板,其中,所述阵列基板包括:

基板;

第一源漏极,形成于所述基板上;

第一绝缘层,形成于所述第一源漏极上;

有源层,形成于所述第一绝缘层上,所述有源层包括经离子掺杂的掺杂区;

第二绝缘层,形成于所述有源层上;

第一栅极,形成于所述第二绝缘层上;

第三绝缘层,形成于所述第一栅极上;

第二栅极,形成于所述第三绝缘层上;

第四绝缘层,形成于所述第二栅极上;

第二源漏极,形成于所述第四绝缘层上;

第一过孔、第二过孔,部分所述第二源漏极通过所述第一过孔与所述掺杂区连接,部分所述第二源漏极通过所述第二过孔与所述第一源漏极连接。

根据本发明一优选实施例,所述第一过孔贯穿所述第四绝缘层、所述第三绝缘层以及所述第二绝缘层;

所述第二过孔贯穿所述第四绝缘层、所述第三绝缘层、所述第二绝缘层以及部分所述第一绝缘层。

根据本发明一优选实施例,所述基板与所述第一源漏极之间,所述阵列基板还包括:

柔性基板薄膜层,形成于所述基板上;

阻挡层,形成于所述柔性基板薄膜层上。

根据本发明一优选实施例,所述阵列基板还包括第三过孔,所述第三过孔贯穿所述第四绝缘层、所述第三绝缘层、所述第二绝缘层、所述第一绝缘层、所述阻挡层,以及部分所述柔性基板薄膜层。

根据本发明一优选实施例,所述第三过孔位于显示面板的弯折区域,所述第三过孔填充有有机绝缘层材料。

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