[发明专利]一种用于处理氧化铟锡电极表面的简单高效的方法在审
| 申请号: | 201810419941.7 | 申请日: | 2018-05-04 |
| 公开(公告)号: | CN108550715A | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
| 发明(设计)人: | 石胜伟;李文婷 | 申请(专利权)人: | 武汉工程大学 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
| 代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 崔友明 |
| 地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 氧化铟锡电极 制备 浸泡 清洗 光电器件 简单溶剂 器件性能 氧化铟锡 聚合物 电极 功函数 透光率 异丙醇 吹干 应用 | ||
本发明涉及一种用于处理氧化铟锡电极表面的简单高效的方法,将氧化铟锡(ITO)电极进行清洗后,置于异丙醇中浸泡24小时以上,然后清洗,吹干。该方法可应用于有机/聚合物光电器件的制备。经过简单溶剂浸泡处理的ITO,透光率可以从88%提高到93%以上,功函数从4.7eV提高到5.0eV,相应制备的器件性能也得到很大幅度的提升。
技术领域
本发明涉及一种用于处理氧化铟锡电极表面的简单高效的方法。
背景技术
氧化铟锡(ITO)是一种制备工艺很成熟的电极,由于其具有优良的导电率和透光率,在液晶显示屏、触摸屏以及正在发展的有机光电器件得到广泛应用。在相应的器件制备之前,ITO电极往往需要经过一系列表面清洗和处理过程,一般都有一个相对固定的操作规程,比如首先需要采用玻璃清洗剂进行初步清洗,去掉玻璃生产和运输过程带来的表面油污;接着采用丙酮进一步去除其他的油污和残留的玻璃清洗剂;然后采用异丙醇或者乙醇去掉残留的丙酮;最后采用去离子水冲洗,去除掉残留的醇溶剂,接着用氮气吹干;然后采用紫外臭氧处理几分钟。通常认为,经过这样的清洗处理流程,ITO玻璃就可以进入器件制备进程。这样的操作一方面是可以去除掉油污和杂质,使得ITO表面具有光滑平整的微观形貌,另一方面可以提高ITO的功函数,使得载流子注入能力得到改善,在器件制备过程是必不可少的。
此外,在有机/聚合物光电器件制备中,在生长有机/聚合物光电功能层之前,往往还需要在ITO表面生长一层阳极界面层或者空穴注入层,其作用主要是改善ITO电极表面与有机功能层之间的接触,以及通过引入适当的梯度能级势垒,可以改善载流子的注入和传输。比如广泛报道采用聚合的氟碳化合物(CFx),富勒烯(C60)掺杂的NPB薄膜以及一层无定形碳的超薄膜用作OLEDs的空穴注入层,器件的发光效率和工作电压都可以得到明显改善。而在聚合物发光二极管和太阳能电池的研究中,PEDOT:PSS是一种更为常见的阳极界面层,用于提高器件性能。
本发明首次发现采用异丙醇溶剂浸泡ITO电极24小时以上,即可以明显增强ITO的透光率,同时ITO电极的功函数也能得到提高,所制备的有机/聚合物发光器件,启亮电压大为降低,发光亮度和效率等性能都得到显著改善。由于在相同电压下所制备器件的电流和亮度都要大大高于常规对照器件,这样也有利于提高器件的稳定性和寿命。本发明提供了一种简便高效的ITO电极的表面处理方法,尽管是针对有机/聚合物光电器件,比如有机/聚合物电致发光二极管,有机/聚合物太阳能电池等,但相信这种ITO电极表面处理方法对于普遍应用的液晶显示屏、触摸屏等基于硅的无机半导体工业都同样适用。
发明内容
本发明提出了一种采用异丙醇浸泡氧化铟锡电极的表面处理方法及其在有机/聚合物电致发光二极管中的应用。
本发明采用的技术方案如下:
一种用于处理氧化铟锡电极表面的简单高效的方法,将氧化铟锡(ITO)电极进行清洗后,置于异丙醇中浸泡24小时以上,然后清洗,吹干。
优选地,所述氧化铟锡电极在浸泡异丙醇之前的清洗过程包括依次采用清洗剂、丙酮、异丙醇进行各10分钟的超声清洗。
优选地,所述氧化铟锡电极在浸泡异丙醇之后的清洗过程为用去离子水冲洗,氮气吹干。
优选地,还包括将清洗吹干的氧化铟锡电极采用固定流程的氧离子处理4分钟。
本发明还提供了上述处理氧化铟锡电极表面的方法在制备有机或聚合物发光器件中的应用,先采用上述方法对氧化铟锡电极进行表面处理,然后依次在电极表面层叠各功能层,得到有机或聚合物发光器件。
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