[发明专利]激光系统在审
申请号: | 201810399543.3 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN108808427A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 张俊霖;叶人豪;张汉龙;傅中其;刘柏村;陈立锐;郑博中 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01S3/00 | 分类号: | H01S3/00;G03F7/20 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 冯志云;张福根 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光放大器 监测器 探测激光 可操作 输出埠 输入埠 激光光束 激光系统 激光源 放大激光光束 穿过 光束路径 探测光束 | ||
【权利要求书】:
1.一种激光系统,包括:
一激光源,可提供一激光光束;
一激光放大器,包括一输入埠及一输出埠,且可放大该激光光束,该激光光束沿一主要光束路径从该输入埠通过该激光放大器至该输出埠;以及
一剩余增益监测器,可提供一探测激光光束,该探测激光光束沿一探测光束路径从该输出埠通过该激光放大器至该输入埠,并返回该剩余增益监测器,其中该剩余增益监测器可利用该探测激光光束计算该激光放大器的剩余增益。
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