[发明专利]承载装置和曝光机

说明书

本发明提供一种承载装置和曝光机，其中承载装置包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；设置在第一预设高度范围的承载台，以及多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；换位结构，用于在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，从多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对设置在第一预设高度范围的承载台和目标承载台，进行位置互换。该方案在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，将其与目标承载台进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度的承载台，从而降低了掩膜版的损坏率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种承载装置和曝光机。

背景技术

在液晶显示技术领域，光刻工艺过程中需要曝光机，通过带有图形的掩膜版对待曝光的基板进行曝光。

曝光机中包括多个从上至下设置的承载台，用于盛放掩膜版。假设曝光机包括5个承载台，则需要使用掩膜版台车通过螺旋升降装置，将掩膜版放至相应的承载台。此过程中，需要掩膜版台车对掩膜版以及承载台进行精确对位，否则易发生掩膜版被划伤的情况。

发明内容

本发明的目的在于提供一种承载装置和曝光机，可以降低掩膜版放置过程中，掩膜版的损坏率。

本发明实施例提供了一种承载装置，应用于曝光机，包括：一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；

所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；

所述换位结构，用于在掩膜版放入之前，判断所述设置在第一预设高度范围的承载台是否承载了掩膜版，如承载了掩膜版，则从所述多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。

在一些实施例中，所述换位结构包括机械臂；

所述机械臂，用于取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。

在一些实施例中，所述换位结构还包括定位器；

所述定位器，用于限定所述机械臂的高度范围，以使所述机械臂取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。

在一些实施例中，所述换位结构还包括缓存区；

所述缓存区，用于在所述机械臂取出所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台时，存放所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台。

在一些实施例中，所述承载装置还包括传感器，所述传感器分别与所述设置在第一预设高度范围的承载台、所述多个设置在第二预设高度范围的承载台电性连接；

所述传感器，用于在掩膜版放入之前，检测所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，是否承载掩膜版；

所述换位结构，用于在所述传感器检测到所述设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版，且在所述传感器检测到所述目标承载台未承载掩膜版后，对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。

本发明实施例还提供了一种曝光机，包括承载装置，所述承载装置包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；

所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；