[发明专利]承载装置和曝光机

权利要求书

1.一种承载装置，应用于曝光机，其特征在于，包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；

所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；

所述换位结构，用于在掩膜版放入之前，判断所述设置在第一预设高度范围的承载台是否承载了掩膜版，如承载了掩膜版，则从所述多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述换位结构包括机械臂；

所述机械臂，用于取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述换位结构还包括定位器；

所述定位器，用于限定所述机械臂的高度范围，以使所述机械臂取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。

4.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述换位结构还包括缓存区；

所述缓存区，用于在所述机械臂取出所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台时，存放所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台。

5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括传感器，所述传感器分别与所述设置在第一预设高度范围的承载台、所述多个设置在第二预设高度范围的承载台电性连接；

所述传感器，用于在掩膜版放入之前，检测所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，是否承载掩膜版；

所述换位结构，用于在所述传感器检测到所述设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版，且在所述传感器检测到所述目标承载台未承载掩膜版后，对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。

6.一种曝光机，其特征在于，包括承载装置，所述承载装置包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；

所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；

所述换位结构，用于在掩膜版放入之前，判断所述设置在第一预设高度范围的承载台是否承载了掩膜版，如承载了掩膜版，则从所述多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。

7.根据权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述换位结构包括机械臂；

所述机械臂，用于取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。

8.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述换位结构还包括定位器；

所述定位器，用于限定所述机械臂的高度范围，以使所述机械臂取放所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述目标承载台。

9.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述换位结构还包括缓存区；

所述缓存区，用于在所述机械臂取出所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台时，存放所述设置在第一预设高度范围的承载台，或所述目标承载台。

10.根据权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述承载装置还包括传感器，所述传感器分别与所述设置在第一预设高度范围的承载台、所述多个设置在第二预设高度范围的承载台电性连接；

所述传感器，用于在掩膜版放入之前，检测所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，是否承载掩膜版；

所述换位结构，用于在所述传感器检测到所述设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版，且在所述传感器检测到所述目标承载台未承载掩膜版后，对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。