[发明专利]一种多投影面拼接的光学系统在审
| 申请号: | 201810371936.3 | 申请日: | 2018-04-24 |
| 公开(公告)号: | CN108663886A | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
| 发明(设计)人: | 方绚莱;威廉普拉莫;张志飞;葛琦;彭博方 | 申请(专利权)人: | 深圳摩方新材科技有限公司 |
| 主分类号: | G03B21/28 | 分类号: | G03B21/28;G03B21/14 |
| 代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 胡玉 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙华新区观澜*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 反射镜 投影面 光学系统 无缝拼接 拼接 对称设置 反射作用 光源投影 投影幅面 投影像素 物面 成像 光源 图案 矛盾 | ||
本发明公开了一种多投影面拼接的光学系统,包括光源、反射镜、物面和至少两个DLP系统,所述DLP系统两两对称设置在所述反射镜两侧,所述光源投影的图案分别经过各DLP系统和所述反射镜后分别成像于物面上,调整反射镜的位置使各个投影面在物面上无缝拼接。本发明利用反射镜的反射作用,实现多个DLP系统的投影面在物面上的无缝拼接,解决了投影像素精度与投影幅面大小的矛盾。
技术领域
本发明属于3D打印技术领域,尤其是一种多投影面拼接的光学系统。该光学系统能够用于基于数字光刻技术的微纳加工制造,用于大幅面高精度的3D打印,用于大幅面高分辨率的数字投影显示等。
背景技术
目前基于数字光处理(DLP-Digital Light Processing)的投影技术有多项应用,比如3D打印技术,无掩膜光刻技术以及数字投影显示技术。
目前基于数字光处理的多种应用方案均涉及投影面积问题。投影面积是由空间光调制器(包括但不仅限于DMD、LCD、LCOS)以及投影镜头的放大倍率决定。现有各种空间光调制器的分辨率(总像素数)一般不大于500万,而投影物镜的放大倍率过大会造成投影面的精细度降低,不能满足相关应用的技术需求,放大倍率较小时,则造成投影面积不能满足技术需求。因此,需要对投影面进行拼接。
发明内容
本发明提出一种多投影面拼接的光学系统,使用多个DLP系统同时投影,并使用反射镜实现多个投影面的无缝(亚像素)拼接。
本发明是这样实现的:
一种多投影面拼接的光学系统,包括光源、反射镜、物面和至少两个DLP系统,所述DLP系统两两对称设置在所述反射镜两侧,所述光源投影的图案分别经过各DLP系统和所述反射镜后分别成像于物面上,调整反射镜的位置使各个投影面在物面上无缝拼接。
本发明的操作方法是:先将目标的投影面分割成适合大小的分解画面,将各分解画面通过光源投影至各DLP系统,再两两通过反射镜组合起来,最终投影在物面上,通过精确调整反射镜的位置,可以使投影的分解画面在物面上无缝拼接起来。其中,光源元件的个数可以与DLP系统的个数相同,保证投影面的精度。通过设置光源和DLP系统的个数,原则上可以实现多个投影面的无缝拼接。
作为发明的进一步改进,所述DLP系统包括空间光调制器和投影物镜,所述光源投影的图案先经过空间光调制器再入射投影物镜。
作为发明的进一步改进,所述空间光调制器包括DMD、LCD和LCOS。
作为发明的进一步改进,所述投影物镜设在所述空间光调制器与反射镜之间,或者设在所述反射镜与物面之间。投影物镜的位置可以根据产品设计要求进行设置。
作为发明的进一步改进,所述投影物镜为投影曝光物镜,所述投影曝光物镜设在所述反射镜与物面之间。当需要获得投影曝光画面时候,将投影曝光物镜设在反射镜与物面之间,可以通过同一个投影曝光物镜实现两个对称的DLP系统的投影面的曝光。
作为发明的进一步改进,所述光源和DLP光学系统之间还设有照明系统。
作为发明的进一步改进,所述反射镜包括三角棱镜。
作为发明的进一步改进,所述三角棱镜为45°反射三角棱镜。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明利用反射镜的反射作用,实现多个DLP系统的投影面在物面上的无缝拼接,解决了投影像素精度与投影幅面大小的矛盾。
附图说明
图1是本发明提供的第一种多投影面拼接的光学系统。
图2是本发明提供的第二种多投影面拼接的光学系统。
图3是本发明提供的第三种多投影面拼接的光学系统。
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