[发明专利]一种多投影面拼接的光学系统在审
| 申请号： | 201810371936.3 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108663886A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 方绚莱;威廉普拉莫;张志飞;葛琦;彭博方 | 申请（专利权）人： | 深圳摩方新材科技有限公司 |
| 主分类号： | G03B21/28 | 分类号： | G03B21/28;G03B21/14 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡玉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新区观澜*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射镜 投影面 光学系统 无缝拼接 拼接 对称设置 反射作用 光源投影 投影幅面 投影像素 物面 成像 光源 图案 矛盾 | ||
【权利要求书】：
1.一种多投影面拼接的光学系统，其特征在于，包括光源、反射镜、物面和至少两个DLP系统，所述DLP系统两两对称设置在所述反射镜两侧，所述光源投影的图案分别经过各DLP系统和所述反射镜后分别成像于物面上，调整反射镜的位置使各个投影面在物面上无缝拼接。
2.根据权利要求1所述的多投影面拼接的光学系统，其特征在于，所述DLP系统包括空间光调制器和投影物镜，所述光源投影的图案先经过空间光调制器再入射投影物镜。
3.根据权利要求2所述的多投影面拼接的光学系统，其特征在于，所述空间光调制器包括DMD、LCD和LCOS。
4.根据权利要求2所述的多投影面拼接的光学系统，其特征在于，所述投影物镜设在所述空间光调制器与反射镜之间，或者设在所述反射镜与物面之间。
5.根据权利要求3所述的多投影拼接的光学系统，其特征在于，所述投影物镜为投影曝光物镜，所述投影曝光物镜设在所述反射镜与物面之间。
6.根据权利要求1所述的多投影面拼接的光学系统，其特征在于，所述光源和DLP光学系统之间还设有照明系统。
7.根据权利要求1所述的多投影面拼接的光学系统，其特征在于，所述反射镜包括三角棱镜。
8.根据权利要求7所述的多投影面拼接的光学系统，其特征在于，所述三角棱镜为45°反射三角棱镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳摩方新材科技有限公司，未经深圳摩方新材科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810371936.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
