[发明专利]一种锗片抛光液回收再利用的装置及其回收方法

说明书

本发明公开了一种锗片抛光液回收再利用的装置，由超声波清洗槽、一级过滤罐、二级过滤罐、三级过滤罐和收集器依次连接组成，所述的超声波清洗罐底部设有换能器，超声波清洗罐和一级过滤罐之间连接一级蠕动泵，所述的一级蠕动泵通过硅胶管伸入超声波清洗罐内部，所述的硅胶管端部设有滤嘴；所述的三级过滤罐和收集器之间连接二级蠕动泵，所述的一级过滤罐、二级过滤罐、三级过滤罐内部均设有滤芯；所述的超声波清洗槽和收集器内部均同轴设有搅拌棒，所述的搅拌棒底部连接搅拌桨。本发明提高了抛光液使用效率，减少抛光废液排量，减少了抛光药品及废液处理药品的消耗，降低了企业生产成本和环保成本。

技术领域

本发明涉及锗片生产加工方法，特别涉及一种锗片抛光废液回收利用的装置及其回收方法。

背景技术

锗片化学机械抛光是晶片在一定的压力及抛光液的条件下，通过磨粒的机械摩擦及氧化剂的腐蚀作用来去除晶片表面材料，获得镜面的过程，其中抛光液由氧化剂、研磨剂、稳定剂、活性剂组成。抛光过程中产生的废液一般经收集处理后直接排掉。经对废液的有效氯/活性氧含量检测，发现经抛光后溶液中的有效氯/活性氧的损耗在5％～15％，即抛光废液中仍有大量的氧化剂成分存在，而研磨剂、稳定剂、活性剂的损耗几乎可以忽略。另外废液中还含有抛光垫绒毛屑、少量锗/硅颗粒、锗/硅酸盐等。因此废液通过过滤处理后，或直接利用，或添加适量的氧化剂再利用。

申请号为2010100229972，申请日为2010.01.19，申请公布号为CN101758457A公开了一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法，此法针对无氧化剂抛光液的回收利用，在氧化剂存在的条件下，其所用的阴、阳交换树脂会发生氧化、变质进而迅速失效，因此此法不适用含氧化剂的抛光废液的回收利用，另外此法还需稀释原液再浓缩过滤液，过程繁琐。申请号为2016104414791，申请日为2016.6.20，申请公布号为CN105856073A公开了一种蓝宝石抛光废液的回收方法，是对铜、钻石的回收，而非抛光废液的回收利用。申请号为2013101504398，申请日为2013.4.26，申请公布号CN103264352A公开了一种大型环抛机的抛光液循环过滤注液装置，该方法操作复杂，设备成本高。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种锗片抛光液回收再利用的装置。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案为：一种锗片抛光液回收再利用的装置，所述的装置由超声波清洗槽、一级过滤罐、二级过滤罐、三级过滤罐和收集器依次连接组成，所述的超声波清洗罐底部设有换能器，超声波清洗罐和一级过滤罐之间连接一级蠕动泵，所述的一级蠕动泵通过硅胶管伸入超声波清洗罐内部，所述的硅胶管端部设有滤嘴；所述的三级过滤罐和收集器之间连接二级蠕动泵，所述的一级过滤罐、二级过滤罐、三级过滤罐内部均设有滤芯；所述的超声波清洗槽和收集器内部均同轴设有搅拌棒，所述的搅拌棒底部连接搅拌桨。

超声的同时必须搅拌，目的是保持溶液良好的分散性，防止研磨剂成分团聚。采用一级过滤罐、二级过滤罐、三级过滤罐进行分级过滤的目的是提高溶液通过率，减少滤芯更换频率。

所述的超声波清洗槽顶部连接注入管道，用于注入抛光废液。

所述的收集器顶部设有给料口，底部设有排液口。

所述的换能器连接于超声频电源。

所述的搅拌桨通过驱动电机驱动。

所述的一级过滤罐滤芯孔径500nm～1um，二级过滤罐滤芯孔径150nm～500nm，三级过滤罐滤芯孔径为80nm～150nm。

所述的超声波清洗槽内壁材质为聚氟乙烯或聚氟四乙烯或聚乙烯材料，所述的搅拌棒及搅拌桨材质为聚氟乙烯或聚氟四乙烯或聚乙烯材料。

本发明还公开了一种锗片抛光液回收再利用的方法，包括如下步骤：

1)将一定量的锗片抛光废液置入超声波清洗槽中，超声并搅拌均匀；