[发明专利]一种锗片抛光液回收再利用的装置及其回收方法

权利要求书

1.一种锗片抛光液回收再利用的装置，其特征在于：所述的装置由超声波清洗槽(3)、一级过滤罐(8-1)、二级过滤罐(8-2)、三级过滤罐(8-3)和收集器(11)依次连接组成，所述的超声波清洗罐(3)底部设有换能器(14)，超声波清洗罐(3)和一级过滤罐(8-1)之间连接一级蠕动泵(7)，所述的一级蠕动泵(7)通过硅胶管(6)伸入超声波清洗罐(3)内部，所述的硅胶管(6)端部设有滤嘴(5)；所述的三级过滤罐(8-3)和收集器(11)之间连接二级蠕动泵(10)，所述的一级过滤罐(8-1)、二级过滤罐(8-2)、三级过滤罐(8-3)内部均设有滤芯(9)；所述的超声波清洗槽(3)和收集器(11)内部均同轴设有搅拌棒，所述的搅拌棒底部连接搅拌桨(4)。

2.如权利要求1所述的锗片抛光液回收再利用的装置，其特征在于：所述的超声波清洗槽(3)顶部连接注入管道(1)，用于注入抛光废液。

3.如权利要求2所述的锗片抛光液回收再利用的装置，其特征在于：所述的收集器(11)顶部设有给料口(13)，底部设有排液口(12)。

4.如权利要求2所述的锗片抛光液回收再利用的装置，其特征在于：所述的换能器(14)连接于超声频电源。

5.如权利要求2所述的锗片抛光液回收再利用的装置，其特征在于：所述的搅拌桨(4)通过驱动电机(2)驱动。

6.如权利要求5所述的锗片抛光液回收再利用的装置，其特征在于：所述的一级过滤罐(8-1)滤芯孔径500nm～1um，二级过滤罐(8-2)滤芯孔径150nm～500nm，三级过滤罐(8-3)滤芯孔径为80nm～150nm。

7.如权利要求6所述的锗片抛光液回收再利用的装置，其特征在于：所述的超声波清洗槽(3)内壁材质为聚氟乙烯或聚氟四乙烯或聚乙烯材料，所述的搅拌棒及搅拌桨(4)材质为聚氟乙烯或聚氟四乙烯或聚乙烯材料。

8.一种锗片抛光液回收再利用的方法，其特征在于：包括如下步骤：

1)将一定量的锗片抛光废液置入超声波清洗槽(3)中，超声并搅拌均匀；

2)通过一级蠕动泵(7)将废液抽取到含不同孔径滤芯的过滤罐中过滤；

3)通过二级蠕动泵(10)将过滤液抽取至收集槽(11)中，搅拌后待用。

9.如权利要求8所述的锗片抛光液回收再利用的方法，其特征在于：所述的超声波清洗槽超声波频率20KHz～1000KHz，超声时间1min～360min；搅拌速度为10r/min～1000r/min，搅拌时间1min～720min；超声的同时必须搅拌。

10.如权利要求8所述的锗片抛光液回收再利用的方法，其特征在于：所述的步骤2)中，一级蠕动泵转速设置在20r/min～600r/min；所述的步骤3)中，二级蠕动泵转速设置在20r/min～600r/min，搅拌速度为10r/min～1000r/min，搅拌时间1min～720min。