[发明专利]可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置

说明书

本发明可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒(2)、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰(3)；所述的测控主机(1)的机架(11)固设在丝杆滑台(6)的滑座(8)上；所述的人机界面控制盒(2)上设有控制测控主机(1)沿金属化薄膜(5)膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮(21)、右移操作按钮(22)；所述的真空电极法兰(3)上设有供步进电机(7)驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极(31)。本发明可检测整个膜幅面所涵盖的镀层方阻值变化情况，适应金属化薄膜规格多样化的监测要求，有利于提高镀膜的质量。

技术领域

本发明涉及金属化薄膜金属镀层测厚仪，特别是涉及一种可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置。

背景技术

金属化薄膜是薄膜电容器生产制造的重要材料，将高纯度金属（如AL，ZN）在高真空状态下熔化、蒸发、沉淀到介质基膜上，在介质基膜表面形成一层极薄的金属镀层后的薄膜就是金属化薄膜；金属镀层厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标，金属化薄膜上的金属镀层厚度很小极难测量，通常用方块电阻来表示金属镀层的厚度，单位正方形面积的电阻值称为方阻（即方块电阻，用Ω/□表示）；在镀膜过程中，如果不能实时了解整个膜面镀层的均匀性，及时调整生产工艺，就会影响镀膜的质量，但是方阻在线监视，无法采取接触方式测量，通常采用表征方阻特性的光密度检测方式，不与金属化薄膜上的金属镀层接触；现有的金属化薄膜方阻在线监视装置一般包括安装在真空蒸镀室内的测控主机、安装在真空蒸镀室外的人机界面、以及用于电连接真空蒸镀室内外的真空电极法兰；测控主机一般包含机架、固设在机架垂直面的控制器、固设在机架水平面的至少一对光源发射头、光源接收头；人机界面固设在蒸镀室外的控制盒操作面，用于显示所有测试点数据的实时监控；真空电极法兰固设在蒸镀室侧壁孔上，用于完成真空蒸镀室内侧的测控主机供电与外侧的人机界面通讯的电连接，且不影响真空蒸镀室内的真空度；然而金属化薄膜规格多样化，即整个膜幅面镀层带数量不一样，采取这种固定位置在线监视方式，势必会导致部分镀层带区域无法监测。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在的不足，提供一种可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，测控主机可检测整个膜幅面所涵盖的镀层方阻值变化情况，适应金属化薄膜规格多样化的监测要求，有利于提高镀膜的质量。

技术方案

为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰；所述的测控主机的机架固设在丝杆滑台的滑座上，所述的丝杆滑台由步进电机驱动；所述的人机界面控制盒上设有控制测控主机沿金属化薄膜膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮、右移操作按钮；所述的真空电极法兰上设有供步进电机驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极。

进一步的，所述测控主机的机架呈长框架结构，与金属化薄膜膜幅面呈垂直设置，用于安装光源发射头及光源接收头，所述金属化薄膜膜幅面位于光源发射头与光源接收头之间的框架内。

进一步的，所述丝杆滑台通过连杆水平固定在蒸镀室侧壁上。

进一步的，所述真空电极法兰包含有4针电极，分别用于电连接步进电机的A+、A-、B+、B-相线。

进一步的，所述步进电机的A+、A -、B+、B-相线输入端通过接插母头分别插入真空电极法兰真空蒸镀室内侧的针电极上，由真空电极法兰针电极电连接至真空蒸镀室外侧，再分别通过接插母头插入真空电极法兰真空蒸镀室外侧的针电极上，将步进电机的 A+、A-、B+、B-相线电连接至步进电机驱动器的输出端子上。

优选的，所述的丝杆滑台有效行程为200mm，丝杆滑台带动测控主机沿金属化薄膜膜幅面垂直横向水平左、右移动，可检测整个膜幅面所涵盖的镀层方阻。