[发明专利]可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置在审
| 申请号： | 201810353361.2 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108592777A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 钱锦绣 | 申请（专利权）人： | 钱立文 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01R27/02;H01G4/33 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 244000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属化薄膜 真空蒸镀 测控主机 人机界面控制 在线监视装置 幅面 真空电极 可移动 法兰 方阻 步进电机 操作按钮 垂直横向 室内外电 阻值变化 左移操作 可检测 驱动线 室内外 丝杆滑 针电极 按钮 镀层 镀膜 滑座 右移 室外 室内 涵盖 监测 | ||
1.可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒(2)、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰(3)；其特征在于所述的测控主机(1)的机架(11)固设在丝杆滑台(6)的滑座(8)上，所述的丝杆滑台(6)由步进电机(7)驱动；所述的人机界面控制盒(2)上设有控制测控主机(1)沿金属化薄膜(5)膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮(21)、右移操作按钮(22)；所述的真空电极法兰(3)上设有供步进电机(7)驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极(31)。
2.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)的机架(11)呈长框架结构，与金属化薄膜(5)膜幅面呈垂直设置，用于安装光源发射头(12)及光源接收头(13)，所述金属化薄膜(5)膜幅面位于光源发射头(12)与光源接收头(13)之间的框架内。
3.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述丝杆滑台(6)通过连杆(9)水平固定在蒸镀室侧壁(4)上。
4.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述真空电极法兰(3)包含有4针电极(31)，分别用于电连接步进电机(7)的A+、A -、B+、B-相线。
5.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述步进电机(7)的A+、A -、B+、B-相线输入端通过接插母头分别插入真空电极法兰(3)真空蒸镀室内侧的针电极(31)上，由真空电极法兰(3) 针电极(31)电连接至真空蒸镀室外侧，再分别通过接插母头插入真空电极法兰(3)真空蒸镀室外侧的针电极(31)上，将步进电机(7)的A+、A -、B+、B-相线电连接至步进电机驱动器的输出端子上。
6.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述丝杆滑台(6)有效行程为200mm。
7.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)的机架(11)内长为1100mm左右。
8.根据权利要求1所述的可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)的光源发射头(12)、光源接收头(13)间隙为20mm左右。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于钱立文，未经钱立文许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810353361.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
