[发明专利]镀膜装置在审
申请号: | 201810350043.0 | 申请日: | 2018-04-18 |
公开(公告)号: | CN110385222A | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 柯荣峰;李硕 | 申请(专利权)人: | 张家港康得新光电材料有限公司 |
主分类号: | B05B16/00 | 分类号: | B05B16/00;B05B13/02;B05B12/10 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 陈治位 |
地址: | 215634 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜单元 分段加热装置 真空腔 真空腔内部 镀膜装置 背离 单独加热 分段加热 结构优化 阻隔膜 辊筒 膜卷 申请 传送 简易 配合 维护 | ||
1.一种镀膜装置,其特征在于,包括:
真空腔;
工艺鼓,所述工艺鼓设置在所述真空腔内部;
若干镀膜单元,所述若干镀膜单元设置于所述真空腔内,且所述若干镀膜单元设置于所述工艺鼓的外表面;
分段加热装置,所述分段加热装置设置于所述真空腔内,并位于所述镀膜单元背离所述工艺鼓的一侧。
2.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述分段加热装置包括多个独立的加热单元,通过对加热单元的单独控制实现对所述若干镀膜单元的分段加热,优选所述加热单元的数量为6-12个。
3.根据权利要求2所述的镀膜装置,其特征在于,各所述加热单元与各所述镀膜单元为一一对应设置。
4.根据权利要求2所述的镀膜装置,其特征在于,每个所述加热单元对应若干个所述镀膜单元。
5.根据权利要求2所述的镀膜装置,其特征在于,每个所述镀膜单元对应若干个所述加热单元。
6.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述工艺鼓安装在鼓架上,所述鼓架滑动安装在所述真空腔内部。
7.根据权利要求6所述的镀膜装置,其特征在于,所述鼓架通过滑动件滑动安装在所述真空腔内部。
8.根据权利要求7所述的镀膜装置,其特征在于,所述滑动件包括滑轨以及安装在所述滑轨上的轨道,所述鼓架安装在所述轨道上,所述滑轨安装在所述真空腔的腔壁上。
9.根据权利要求6、7或8所述的镀膜装置,其特征在于,所述鼓架为三角形鼓架。
10.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述镀膜单元为工艺喷头,所述工艺喷头的喷射端朝向所述工艺鼓的外表面设置。
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