[发明专利]一种水性金刚线硅片切割液有效
| 申请号： | 201810348958.8 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108559602B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 李永双;李德江 | 申请（专利权）人： | 三峡大学 |
| 主分类号： | C10M173/00 | 分类号： | C10M173/00;C10M173/02;B28D5/04;C10N30/06 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443002 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 水性 金刚 硅片 切割 | ||
【权利要求书】：
1.一种水性金刚线硅片切割液，其特征在于：所述的水性金刚线硅片切割液的组分包括脂肪酸甲酯、聚乙二醇400单月桂酸酯、顺丁烯二酸二仲辛酯磺酸钠、聚氧乙烯脱水山梨醇单油酸酯、二甲苯磺酸钠、癸炔二醇聚氧乙烯醚和去离子水；
所述的水性金刚线硅片切割液按重量份数计包括以下各组分：脂肪酸甲酯5-10份、聚乙二醇400单月桂酸酯8-15份、顺丁烯二酸二仲辛酯磺酸钠5-10份、聚氧乙烯脱水山梨醇单油酸酯2-5份、二甲苯磺酸钠0.1-1份、癸炔二醇聚氧乙烯醚1-5份和去离子水60-80份。
2.根据权利要求1所述的所述的水性金刚线硅片切割液，其特征在于：所述的水性金刚线硅片切割液按重量份数计包括以下各组分：脂肪酸甲酯8份、聚乙二醇400单月桂酸酯10份、顺丁烯二酸二仲辛酯磺酸钠5份、聚氧乙烯脱水山梨醇单油酸酯4份、二甲苯磺酸钠0.5份、癸炔二醇聚氧乙烯醚2.5份和去离子水70份。
3.如权利要求1或2所述的水性金刚线硅片切割液的制备方法，其特征在于：所述制备方法为：将脂肪酸甲酯、聚乙二醇400单月桂酸酯、顺丁烯二酸二仲辛酯磺酸钠、聚氧乙烯脱水山梨醇单油酸酯、癸炔二醇聚氧乙烯醚加入到搅拌罐搅拌均匀，然后边搅拌边缓慢加入去离子水，得到透明乳液，最后加入二甲苯磺酸钠搅拌均匀即得到水性金刚线硅片切割液。
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