[发明专利]水射流加工装置

权利要求书

1.一种水射流加工装置，其具有：

卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；

高压水喷射单元，其具有高压水喷嘴，该高压水喷嘴沿着该卡盘工作台所保持的被加工物的分割预定线喷射高压水，将该分割预定线的附着物去除；

加工进给单元，其将该卡盘工作台在与该保持面平行的X方向上进行加工进给；

分度进给单元，其将该高压水喷嘴在与该保持面平行的Y方向上进行分度进给；

移动单元，其使该高压水喷嘴在与该保持面接近或远离的Z方向上移动；

对准单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，对该分割预定线进行检测；

盒载置区域，其对收纳多个被加工物的盒进行载置；以及

搬送单元，其在载置于该盒载置区域的该盒与该卡盘工作台之间对被加工物进行搬送，

在喷射该高压水时，该移动单元单独地调整该高压水喷嘴的Z方向的位置，从而对该高压水喷嘴与该被加工物的该Z方向的距离进行调整。

2.根据权利要求1所述的水射流加工装置，其中，

该高压水喷嘴包含第1高压水喷嘴和第2高压水喷嘴，该第1高压水喷嘴和该第2高压水喷嘴在沿该Y方向延伸的同一直线上被分别单独地分度进给。

3.根据权利要求1所述的水射流加工装置，其中，

该水射流加工装置还具有飞沫吸引单元，该飞沫吸引单元具有：

筒状或圆顶状的遮蔽部，其围绕该高压水喷嘴的前端部而进行覆盖；以及

吸引部，其与该遮蔽部连通，对因高压水喷射而产生的飞沫进行吸引。

4.根据权利要求1所述的水射流加工装置，其中，

该水射流加工装置还具有金属制的加工进给单元罩，该加工进给单元罩在该卡盘工作台的两侧覆盖该加工进给单元。

5.根据权利要求1所述的水射流加工装置，其中，

该水射流加工装置还具有清洗单元，该清洗单元对保持在该卡盘工作台上并被该高压水喷嘴喷射了该高压水的被加工物进行清洗。