[发明专利]可拉伸柔性液池及其制作方法

权利要求书

1.一种可拉伸柔性液池，包括上液池和下液池，所述上液池和下液池之间依次设有石墨烯层和衬底，其特征在于：所述衬底为柔性衬底，所述上液池由石墨烯层、以及对置于石墨烯层两侧的柔性衬底围成，所述石墨烯层置于上液池底部用于过滤离子；所述柔性衬底内设用于离子流动的通道；

所述柔性衬底采用PDMS和PMMA的双层膜或PDMS和SU-8的双层膜，所述石墨烯层分别与PMMA或SU-8接触；其中，PMMA或SU-8层位于石墨烯层的下方，PDMS层的顶部围成所述上液池的槽，所述PDMS层托住PMMA或SU-8层，PMMA或SU-8层中设有通孔，两侧的PDMS层之间设有与所述通孔相对应的通道；

所述PMMA或SU-8层的厚度为0.8～1.2微米，所述通孔的直径为1～5微米，所述通道的直径为500微米到3厘米。

2.一种制作权利要求1所述可拉伸柔性液池的方法，其特征在于包括如下步骤：在基底上制作石墨烯层，在石墨烯层上制备柔性衬底，之后在柔性衬底中制作通道，然后将基底去除，最后将上液池、石墨烯层和衬底以及下液池组装好后即得可拉伸柔性液池；具体内容如下：

(1)将石墨烯剥离在基底上，形成石墨烯层，在石墨烯层上旋涂PMMA；

(2)在覆盖石墨烯的PMMA层上使用电子束刻蚀做标记，确定石墨烯具体位置后，再用电子束刻蚀去掉覆盖在石墨烯上的PMMA，形成PMMA通孔；

(3)对PDMS打通孔，在光学显微镜下将PMMA通孔和PDMS通孔对准，使其粘附在一起，之后放入碱溶液中，脱除二氧化硅衬底；

(4)将上液池、石墨烯层和衬底以及下液池组装好后即得可拉伸柔性液池。

3.根据权利要求2所述可拉伸柔性液池的制作方法，其特征在于：步骤(3)中所述标记为十字叉丝，且确定石墨烯具体位置的步骤为：在光学显微镜下确定每个十字叉丝与石墨烯x、y方向的距离，之后将其放入电子显微镜真空腔中，通过找到十字叉丝的位置从而确定石墨烯具体位置。