[发明专利]正型抗蚀剂膜层合体和图案形成方法

权利要求书

1.正型抗蚀剂膜层合体，其包括作为第一支持体的热塑性膜和在其上的酚醛清漆树脂-萘醌二叠氮化物系正型抗蚀剂膜，

所述酚醛清漆树脂-萘醌二叠氮化物系正型抗蚀剂膜包括

(A)酚醛清漆树脂-萘醌二叠氮化物系树脂组合物，

(B)聚酯，和

(C)3至30重量％的有机溶剂，

所述酚醛清漆树脂-萘醌二叠氮化物系树脂组合物(A)包括

(A-1)具有酚羟基的酚醛清漆树脂，其中酚羟基的部分或全部氢原子被1,2-萘醌二叠氮基磺酰基取代，

(A-2)具有酚羟基的酚醛清漆树脂，其中酚羟基的部分或全部氢原子被1,2-萘醌二叠氮基磺酰基取代；以及具有未取代的酚羟基的酚醛清漆树脂，

(A-3)具有酚羟基的酚醛清漆树脂，其中酚羟基的部分或全部氢原子被1,2-萘醌二叠氮基磺酰基取代；以及1,2-萘醌二叠氮基磺酸酯，

(A-4)具有酚羟基的酚醛清漆树脂，其中酚羟基的部分或全部氢原子被1,2-萘醌二叠氮基磺酰基取代；具有未取代的酚羟基的酚醛清漆树脂，以及1,2-萘醌二叠氮基磺酸酯，或

(A-5)具有未取代的酚羟基的酚醛清漆树脂和1,2-萘醌二叠氮基磺酸酯。

2.根据权利要求1所述的层合体，其中所述聚酯(B)为基于具有2至6个羧基的多官能羧酸的聚酯。

3.根据权利要求1所述的层合体，其中所述聚酯(B)为多官能羧酸与多元醇的缩合物或者多官能酸酐与多元醇的缩合物。

4.根据权利要求1所述的层合体，其中所述聚酯(B)为碱溶性。

5.根据权利要求1所述的层合体，所述酚醛清漆树脂-萘醌二叠氮化物系正型抗蚀剂膜还包含(D)表面活性剂。

6.图案形成方法，其包括以下步骤：

(1)将根据权利要求1所述的层合体的酚醛清漆树脂-萘醌二叠氮化物系正型抗蚀剂膜转印至第二支持体，

(2)将所述抗蚀剂膜曝光至UV辐射，和

(3)将所述抗蚀剂膜用碱性水溶液显影。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述步骤(1)进一步包括在所述转印之后预烘焙所述抗蚀剂膜。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述步骤(2)进一步包括曝光后烘焙。

9.根据权利要求6所述的方法，其进一步包括在步骤(3)之后的通过电镀或化学镀在所述第二支持体上形成金属镀层的步骤(4)。