[发明专利]一种基板对位装置、基板及基板对位方法有效
申请号: | 201810337872.5 | 申请日: | 2018-04-16 |
公开(公告)号: | CN108519693B | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 赵新宇;范晓旺 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/68 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 对位 装置 方法 | ||
本发明提供了一种基板对位装置、基板及基板对位方法,所述基板对位装置,用于将待对位基板进行对位校正,所述待对位基板的相对两侧设置有磁性件;所述基板对位装置包括相隔设置的两组对位部件,每一组对位部件上分别设有磁性结构,所述磁性结构能够与所述磁性件之间产生磁性作用力,以使待对位基板悬浮固定于两组所述对位部件之间。本发明所提供的基板对位装置、基板及基板对位方法能够减少基板与对位pin的接触,从而减少对基板造成破损、划伤及对位不准等现象发生。
技术领域
本发明涉及显示器制造技术领域,尤其涉及一种基板对位装置、基板及基板对位方法。
背景技术
在显示器制造过程中,会涉及到对位工序,例如,在显示器制造过程中,需要对玻璃基板进行检测,检测时通过工艺机台上的对位pin对待检测基板进行对位校正,只有对位精度在允许的误差范围内,设备才可进行生产。通常,对位pin从基板的四个侧边向基板中心聚拢,直至对位pin夹持住基板,再移动对位pin,实现对基板的对位校正。由于目前所使用的对位pin(对位杆)都会与基板直接接触,会造成基板易破损、划伤及对位不准等问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基板对位装置、基板及基板对位方法,能够减少基板与对位pin的接触,从而减少对基板造成破损、划伤及对位不准等现象发生。
本发明所提供的技术方案如下:
第一方法,本发明提供一种基板对位装置,用于将待对位基板进行对位校正,所述待对位基板的相对两侧设置有磁性件;所述基板对位装置包括相隔设置的两组对位部件,每一组对位部件上分别设有磁性结构,所述磁性结构能够与所述磁性件之间产生磁性作用力,以使待对位基板悬浮固定于两组所述对位部件之间。
可选的,所述磁性结构包括施加电信号时能够产生所述磁性作用力的电磁结构;所述基板对位装置还包括与所述电磁结构连接的信号施加单元,用于向所述电磁结构施加电信号,以使两组所述对位部件分别与所述待对位基板产生的磁性作用力之间保持平衡。
可选的,所述电信号包括电流大小和/或电流方向,所述电磁结构包括电磁线圈,
所述电磁线圈所通入的电流方向改变时,所述电磁结构的磁极改变;
所述电磁线圈所通入的电流大小改变时,所述电磁线圈所产生的磁场强度改变,以改变所述对位部件与所述待对位基板之间所产生的磁性作用力。
可选的,每一组对位部件包括至少两个对位部件;其中,
所述信号施加单元与每一所述对位部件上的电磁结构单独连接,能够单独控制每一个所述对位部件上的电磁结构上所施加的电信号,以使每一个所述对位部件与所述待对位基板之间的磁性作用力单独可调;
或者,所述信号施加单元向同一组对位部件上施加相同的电信号,以使同一组对位部件与所述待对位基板之间的磁性作用力同步可调。
第二方面,本发明提供一种基板,在所述基板的相对两侧分别设置有磁性部件。
可选的,所述磁性部件为采用磁性材料形成的磁性层。
第三方面,本发明提供一种基板对位方法,采用如上所述的基板对位装置对如上所述的基板进行对位校正;所述方法包括:
控制每一组对位部件的所述磁性结构与所述基板上的所述磁性件之间产生磁性作用力,以使所述基板悬浮固定于两组所述对位部件之间。
可选的,所述控制每一组对位部件的所述磁性结构与所述基板上的所述磁性件之间产生磁性作用力,以使所述基板悬浮固定于两组所述对位部件之间,具体包括:
向所述对位部件上的所述电磁结构上施加电信号,以使两组所述对位部件分别与所述待对位基板所产生的磁性作用力之间保持平衡。
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