[发明专利]一种柔性电卡制冷器件

权利要求书

1.一种柔性电卡制冷器件，其特征在于，器件结构包括：依次设置的柔性耐火纸衬底、镍酸镧底电极层、钛酸锶钡电卡薄膜层为三明治层状空间曲面结构，且三层具有同样的弧度复合；设置若干个铂顶电极均匀排布在钛酸锶钡电卡薄膜层顶部；

所述的柔性耐火纸衬底可承受1000℃以上的高温柔性衬底耐火纸，实现电极层和电卡薄膜层的直接生长和原位成相；

所述的柔性衬底耐火纸厚度在10-100μm，其弯曲曲率半径为1mm；

所述的镍酸镧底电极层采用溶胶凝胶法制备，旋涂转速在3000-5000rpm，退火温度在600-800℃；电极表面起伏在3nm以下，电阻在100Ω以下；

所述的铂顶电极采用磁控溅射法制备，溅射气压在0.5-1Pa，溅射功率在30-70W；

所述的铂顶电极的直径为100—1000μm的圆形电极。

2.根据权利要求1所述的柔性电卡制冷器件，其特征在于，所述钛酸锶钡电卡薄膜层的薄膜材料为无铅电卡薄膜钛酸锶钡Ba_1-xSr_xTiO₃，其中x的取值范围0.2≤x≤0.4。

3.根据权利要求2所述的柔性电卡制冷器件，其特征在于，无铅电卡薄膜钛酸锶钡Ba_1-xSr_xTiO₃薄膜，采用旋涂法制备，旋涂转速在3000-5000rpm，退火温度在650-850℃。

4.根据权利要求2所述的柔性电卡制冷器件，其特征在于，所述的无铅电卡薄膜钛酸锶钡Ba_1-xSr_xTiO₃电卡薄膜，厚度在0.1-10μm，表面光滑，致密度高，具有较高的电卡制冷系数。