[发明专利]一种耐热性光刻胶组合物有效
| 申请号： | 201810301085.5 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN108535960B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 康文兵 | 申请（专利权）人： | 倍晶新材料（山东）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/008;G03F7/038 |
| 代理公司： | 上海融力天闻律师事务所 31349 | 代理人： | 张一超 |
| 地址： | 271000 山东省泰安市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 耐热性 光刻 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种耐热性酚醛树脂光刻胶组合物，其特征在于，按重量份数计，包括：
a）基础光刻胶；
b）耐热性树脂；
其中，所述基础光刻胶主要组分为酚醛树脂和光敏剂；所述耐热性树脂通过酰胺基单体(Ⅰ)、酰亚胺单体(Ⅱ)、丙烯酸酯类单体共聚得到，为了达到碱溶目的，需要在共聚过程中配比一定量的含羧基化合物或碱溶性的含酚羟基化合物；
所述基础光刻胶与所述耐热性树脂的重量比为60：40至95：5；
所述酰胺基单体（Ⅰ）和酰亚胺单体（Ⅱ）的化学结构式如下（Ⅰ）和（Ⅱ）所示：
（Ⅰ） （Ⅱ）
其中：R1为氢或甲基；R2为氢，烷基，取代烷基或芳香族基团；R3为氢，烷基，取代烷基，苯基，取代苯基或芳香族基团；
所述取代烷基为甲基，乙基，丙基或苯基取代烷基；所述取代苯基为甲基苯基，对羟基苯基，对羧基苯基，萘基或蒽基；所述芳香族基团为具有磺酰胺基或羟基的苯基。
2.根据权利要求1所述的耐热性酚醛树脂光刻胶组合物，其特征在于，所述含羧基化合物为甲基丙烯酸、丙烯酸或马来酸。
3.根据权利要求1至2任一项所述的耐热性酚醛树脂光刻胶组合物，其特征在于，所述耐热性酚醛树脂光刻胶组合物的酸值为20-300，重量平均分子量为300-500000。
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