[发明专利]检查装置、检查方法及膜卷绕体的制造方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，具备：

射线源，其从检查对象物的厚度方向对所述检查对象物呈放射状射出电磁波；

TDI传感器，其相对于所述检查对象物设置于与所述射线源相反的一侧，对透过所述检查对象物的所述电磁波进行检测；以及

移动机构，其一边将所述射线源与所述检查对象物的距离以及所述射线源与所述TDI传感器的距离保持为大致固定，一边使所述检查对象物中的检查区域移动，

所述检查对象物是具备圆筒形状的芯部和卷绕于所述芯部的外周面的膜的膜卷绕体，

所述射线源包括第一射线源以及第二射线源，

对所述第一射线源以及所述第二射线源而言，各射线源的间隔设定为与所述芯部的直径大致一致，以避免从各射线源呈放射状射出的电磁波被所述芯部遮挡。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述移动机构使所述检查对象物沿着以穿过所述第一射线源以及所述第二射线源的线为大致中心的圆形轨道移动。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述TDI传感器以与所述圆形轨道大致平行的方式弯曲。

4.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述移动机构使所述检查对象物在位于所述圆形轨道上的第一地点与第二地点之间多次进行往复移动。

5.根据权利要求4所述的检查装置，其中，

所述TDI传感器在所述检查对象物从所述第一地点朝向所述第二地点移动的期间对透过所述检查对象物的所述电磁波进行检测。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，

所述移动机构在所述检查对象物从所述第二地点朝向所述第一地点移动的期间使所述检查对象物以沿着所述厚度方向延伸的轴为大致中心进行旋转。

7.根据权利要求4所述的检查装置，其中，

所述TDI传感器在所述检查对象物从所述第一地点朝向所述第二地点移动的期间以及所述检查对象物从所述第二地点朝向所述第一地点移动的期间对透过所述检查对象物的所述电磁波进行检测。

8.根据权利要求7所述的检查装置，其中，

所述移动机构在所述检查对象物从所述第一地点到达所述第二地点时以及所述检查对象物从所述第二地点到达所述第一地点时，使所述检查对象物以沿着所述厚度方向延伸的轴为大致中心进行旋转。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的检查装置，其中，

所述检查对象物的从所述厚度方向观察时的外形为大致圆形。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的检查装置，其中，

所述电磁波为X射线。

11.一种检查方法，其特征在于，包括：

射出工序，在该射出工序中，自射线源从检查对象物的厚度方向对所述检查对象物呈放射状射出电磁波；

移动工序，在该移动工序中，使所述检查对象物中的检查区域移动；以及

检测工序，在该检测工序中，由TDI传感器对透过所述检查对象物的所述电磁波进行检测，

在所述移动工序中，一边将所述射线源与所述检查对象物的距离以及所述射线源与所述TDI传感器的距离保持为大致固定，一边使所述检查区域移动，

所述检查对象物是具备圆筒形状的芯部和卷绕于所述芯部的外周面的膜的膜卷绕体，

所述射线源包括第一射线源以及第二射线源，

对所述第一射线源以及所述第二射线源而言，各射线源的间隔设定为与所述芯部的直径大致一致，以避免从各射线源呈放射状射出的电磁波被所述芯部遮挡。

12.根据权利要求11所述的检查方法，其中，

在所述移动工序中，使所述检查区域沿着以穿过所述第一射线源以及所述第二射线源的线为大致中心的圆形轨道移动。