[发明专利]低温固化的感光性树脂组合物及其用途有效

专利信息
申请号: 201810285286.0 申请日: 2018-04-02
公开(公告)号: CN108931885B 公开(公告)日: 2021-08-13
发明(设计)人: 李旭正;林伯南;蓝大钧;张志毅 申请(专利权)人: 台湾永光化学工业股份有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 中国台湾台北*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 低温 固化 感光性 树脂 组合 及其 用途
【权利要求书】:

1.一种低温固化的感光性树脂组合物,包括:

(A)0.1至10重量百分比的丙烯酸树脂高分子;

(B)0.1至20重量百分比的丙烯酸聚氨酯低聚物;

(C)0.1至5重量百分比的伯硫醇单体;

(D)0.1至5重量百分比的仲硫醇单体;

(E)0.1至6重量百分比的光引发剂;

(F)0.01至0.5重量百分比的热引发剂;

(G)0.1至5重量百分比的环氧单体;以及

(H)余量溶剂,

其中该伯硫醇单体具有四个或以上的硫醇官能基,该仲硫醇单体具有三个或以上的硫醇官能基,且该环氧单体包括双(7-氧杂双环[4.1.0]3-庚甲基)己二酸酯、3-(2,3-环氧丙氧)丙基三甲氧基硅烷或其组合。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中该热引发剂为反应温度150℃以下的四-五氟苯硼酸盐。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中该热引发剂为选自(4-乙酸苯酚酯)甲基(2-甲基苯基甲基)锍四(2,3,4,5,6-五氟苯基)硼酸盐、(4-乙酸苯酚酯)甲基(苯甲基)锍四(2,3,4,5,6-五氟苯基)硼酸盐及(4-羟苯基)甲基(苯甲基)锍四(2,3,4,5,6-五氟苯基)硼酸盐所组成群组中的一种。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中该伯硫醇单体为双季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)或四季戊四醇(3-巯基丙酸酯)。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中该仲硫醇单体选自1,3,5-三(2-(3-硫烷基丁酰氧基)乙基)-1,3,5-三嗪烷-2,4,6-三酮及季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)中的一种。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中该丙烯酸树脂高分子由甲基丙烯酸三环[5,2,1,02,6]癸-8-基酯、甲基丙烯酸、苯乙烯、甲基丙烯酸缩水甘油酯所组成。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中该丙烯酸树脂高分子的分子量为8000-14000克/摩尔。

8.一种如权利要求1至7任一项所述的低温固化的感光性树脂组合物的用途,其用于低温固化工艺,其中低温指150℃以下。

9.根据权利要求8所述的用途,其中低温为80℃至150℃。

10.一种如权利要求1至7任一项所述的低温固化的感光性树脂组合物的用途,其用于以无机碱显影的工艺上。

11.根据权利要求10所述的用途,其中该无机碱包括氢氧化钾、碳酸钠或碳酸氢钠。

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