[发明专利]利用微波气相沉积制备掺氮碳纳米管的方法及装置在审
| 申请号： | 201810278622.9 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108190862A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 赵洪阳;方紫璇;王欢;马志斌 | 申请（专利权）人： | 武汉工程大学 |
| 主分类号： | C01B32/168 | 分类号： | C01B32/168 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 崔友明;刘洋 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掺氮 碳纳米管 制备 等离子化 气相沉积 微波功率 纳米管 氮碳 微波 等离子体 氮气 碳纳米管表面 碳纳米管粉末 微波等离子体 腔体抽真空 氮气流量 氮气气源 密闭腔体 气体吸收 腔体内部 微波能量 微波照射 质量纯度 氮原子 铁磁性 离解 气压 体内 测试 激发 表现 | ||
1.一种掺氮碳纳米管的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
将碳纳米管粉末置于密闭腔体中，对腔体抽真空；
向腔体内通入氮气，调节氮气流量、气压，同时进行微波照射，使得腔体内部气体吸收微波能量并激发产生等离子体；
等离子化后的氮原子会掺到碳纳米管表面和内部结构中，形成掺氮碳纳米管，控制微波功率和掺氮时间，得到不同氮含量的氮碳纳米管。
2.如权利要求1所述掺氮碳纳米管的制备方法，其特征在于微波功率为120W，氮气流量为30-50sccm，工作气压为2kPa-5kPa，微波照射时间为10-120min。
3.一种掺氮碳纳米管的制备装置，其特征在于包括腔体、进气口、抽气口、压缩矩形波导、石英玻璃管、微波发生器；
在腔体内部，设置有基片台和升降机构，基片台安装在升降机构上；
在腔体上下两端开有进气口和抽气口；
腔体的中部设有石英玻璃管，微波透过石英玻璃管在腔体内进行传输；
腔体固定有可上下移动的金属法兰，上金属法兰位于石英玻璃管的上方，下金属法兰位于石英玻璃管的下方，腔体由上下金属法兰与压缩矩形波导相连，压缩矩形波导与微波发生器相连。
4.如权利要求3所述掺氮碳纳米管的制备装置，其特征在于所述抽气口与真空泵与真空管道相连，真空管道上设有真空粗调阀和微调阀。
5.如权利要求3所述掺氮碳纳米管的制备装置，其特征在于所述进气口为氮气进气口。
6.如权利要求3所述掺氮碳纳米管的制备装置，其特征在于所述基片台采用钼基片。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉工程大学，未经武汉工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810278622.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种碳纳米管分散和定向捕集装置
- 下一篇：一种掺氮碳纳米角的制备方法
