[发明专利]检测系统和检测方法

说明书

本发明提供了一种检测系统和检测方法，包括：运动单元、检测单元及校验单元；其中，所述运动单元用以承载待检测对象，并带动所述待检测对象至预定位置后向所述检测单元和所述校验单元发出触发信号；所述检测单元用以根据所述触发信号在预定位置对所述待检测对象执行检测操作；所述校验单元用以根据所述触发信号及所述预定位置的信息得到所述检测单元缺失的预定位置。在本发明提供的检测系统和检测方法中，所述校验单元能检测到所述检测单元缺失的预定位置，由此在检测单元丢了一些需要操作的预定位置的情况下，也无须重新扫描以获取缺失的预定位置，避免了因为预定位置的信息的丢失而检测整个待检测对象，提高了检测系统的效率。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测系统和检测方法。

背景技术

自动光学检测(Automatic Optical Inspection:AOI)技术，可实现晶圆、芯片或其他待测对象的快速、高精度无损检测，该技术广泛地应用于PCB、IC晶圆、LED以及太阳能面板等多个领域。自动光学检测技术一般采用高精度光学成像系统对待测对象进行成像，运动台承载待测对象进行高速扫描以实现高速测量；系统将扫描的图像和理想参考图像进行比较，或通过特征提取等方式，识别出待测对象的表面缺陷。

扫描过程中运动台与图像采集设备没有信息交互，处于开环控制，当扫描过程中出现异常导致扫描点信号丢失后，无法定位丢失点的位置信息，直到扫描完成后才能获知丢失点数量和丢失点信息。随着设备扫描速率的提升，此类问题出现的概率也随之增加，一旦出现此类问题就需要对整张硅片进行重新扫描，严重影响了整台机器的产率和用户体验。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检测系统和检测方法，可以记录触发信号丢失位置，使图像采集设备直接采集预定位置信息丢失的位置的图像，从而提高设备的效率。

为了达到上述目的，本发明提供了一种检测系统，包括：运动单元、检测单元及校验单元；其中，

所述运动单元用以承载待检测对象，并带动所述待检测对象至预定位置后向所述检测单元和所述校验单元发出触发信号；

所述检测单元用以根据所述触发信号在预定位置对所述待检测对象执行检测操作；

所述校验单元用以根据所述触发信号及所述预定位置的信息得到所述检测单元缺失的预定位置。

可选的，在所述的检测系统中，所述校验单元将得到的所述检测单元缺失的预定位置的信息发送给所述运动单元，所述运动单元带动所述待检测对象至所述检测单元缺失的预定位置，并向所述检测单元发出触发信号。

可选的，在所述的检测系统中，所述检测系统还包括控制单元，所述控制单元用以向所述运动单元及所述校验单元发送预定位置的信息。

可选的，在所述的检测系统中，所述校验单元将得到的所述检测单元缺失的预定位置的信息发送给所述控制单元，所述控制单元向所述运动单元发送所述检测单元缺失的预定位置的信息，所述运动单元带动所述待检测对象至所述检测单元缺失的预定位置，并向所述检测单元发出触发信号。

可选的，在所述的检测系统中，所述预定位置的信息包含多个呈阵列排布的所述预定位置。

可选的，在所述的检测系统中，所述校验单元包括第一校验单元和第二校验单元，所述第一校验单元用以将触发信号、检测单元的检测方向以及预定位置的信息进行编码发送给所述第二校验单元，所述第二校验单元用以将所述第一校验单元发送的信息解码并将解码后的触发信号与解码后的预定位置的信息比对判断是否有缺失的触发信号从而判断所述检测单元是否有缺失的预定位置。

可选的，在所述的检测系统中，所述编码方向包括正向编码和反向编码。

可选的，在所述的检测系统中，所述第二校验单元通过记录相邻的触发信号的时间间隔的方式来判断所述检测单元缺失的预定位置。