[发明专利]一种基于晶圆测试设计的探针卡基板在审
| 申请号： | 201810272435.X | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108333395A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 吴龙军 | 申请（专利权）人： | 无锡品测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 程爽 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 植针 测试源 探针卡 继电器模块 晶圆测试 熔丝模块 基板 熔丝 继电器控制 测试接口 测试平台 测试资源 晶圆检测 板连接 排线 匹配 测试 通用 | ||
1.一种基于晶圆测试设计的探针卡基板，其特征在于，包括植针区域(1)、测试源模块(2)、继电器模块(3)和熔丝模块(4)，所述植针区域(1)分别与测试源模块(2)、继电器模块(3)和熔丝模块(4)连接，所述植针区域(1)设有若干个用于对晶圆测试产品进行植针的植针点，所述测试源模块(2)包括若干个测试接口且所述测试源模块(2)包括与若干个型号的测试平台相匹配的测试资源，所述继电器模块(3)与测试源模块(2)连接且所述继电器模块(3)与测试平台上的继电器控制位连接，所述熔丝模块(4)通过排线与熔丝板连接。
2.如权利要求1所述的基于晶圆测试设计的探针卡基板，其特征在于，所述植针区域(1)位于探针卡基板的中心且所述植针区域(1)的植针点呈圆环形分布。
3.如权利要求2所述的基于晶圆测试设计的探针卡基板，其特征在于，所述植针区域(1)设有96根植针点。
4.如权利要求1所述的基于晶圆测试设计的探针卡基板，其特征在于，测试产品的管脚与所述测试源模块(2)上的测试接口连接。
5.如权利要求1所述的基于晶圆测试设计的探针卡基板，其特征在于，所述继电器模块(3)通过34PIN牛角座与测试平台上的继电器控制位连接。
6.如权利要求1-5任一项所述的基于晶圆测试设计的探针卡基板，其特征在于，所述测试源模块(2)包括4个测试接口，所述4个测试接口对称分布在所述植针区域两侧。
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