[发明专利]一种太阳能电池制程追溯方法有效
申请号: | 201810255680.X | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN108538757B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 沈健;刘晓兵;赵福祥;金起弘;张大荣;黄健 | 申请(专利权)人: | 韩华新能源(启东)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;林传贵 |
地址: | 226200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 追溯 方法 | ||
1.一种太阳能电池制程追溯方法,其特征在于,包括以下步骤:在硅片外观和电性能检测工序后安装打码设备,所述打码设备使得硅片上具备识别码,所述识别码与所述硅片原料参数一一对应,所述识别码的内容由硅片外观及电性能检测设备生成并通过有线或无线的通讯方式发送给打码设备,在所述硅片制程的后续工序设备上安装读码设备,所述读码设备读取每个所述硅片的识别码并与当前工序的工艺参数相对应,最后将所述工序的所有数据连入制造执行系统并进行存储;每片所述硅片具备两个或多个所述识别码,两个或多个所述识别码的内容一致;
所述工序包括硅片外观及电性能检测、制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷、测试分析及相应的打码和读码;所述识别码位于所述硅片的正面,所述识别码的深度为5~50um;所述打码设备为激光刻码;所述识别码为二维码或条形码;所述二维码的单元中设置有圆点,所述圆点的尺寸相同,所述条形码中设置有条形槽,所述条形槽的尺寸相同或不同;
硅片经过所述硅片外观及电性能检测进入打码设备和用于确认所述打码设备是否按照硅片外观及电性能检测设备发过来的条码内容准确刻码的读码设备。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造