[发明专利]力检测装置以及机器人

权利要求书

1.一种力检测装置，其特征在于，具备：

第一板，具有连接部；

第二板；

构造体，位于所述第一板和所述第二板之间，

所述构造体具有：

传感器装置，具备至少一个压电元件；

第一固定部，与所述传感器装置接触，被固定于所述第一板；

第二固定部，与所述传感器装置接触，被固定于所述第二板；

从所述第一板和所述第二板重叠的方向观察，所述连接部的至少一部分与所述构造体重叠。

2.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，

从所述第一板和所述第二板重叠的方向观察，所述连接部的至少一部分与所述第一固定部重叠。

3.根据权利要求1或2所述的力检测装置，其特征在于，

所述传感器装置具有：层叠有多个所述压电元件的层叠体，

所述层叠体中的多个所述压电元件的层叠方向相对于所述第一板的板面的法线交叉。

4.根据权利要求3所述的力检测装置，其特征在于，

所述压电元件具有：通过压电效果产生电荷的压电体层、以及

设置于所述压电体层且输出对应于所述电荷的信号的电极。

5.根据权利要求4所述的力检测装置，其特征在于，

所述传感器装置具有收容所述压电元件的封装，

所述封装具有：具有配置有所述压电元件的凹部的基部、以堵塞所述凹部的开口的方式设置的盖体、以及将所述基部和所述盖体接合的密封部件。

6.根据权利要求5所述的力检测装置，其特征在于，

所述密封部件包括科瓦铁镍钴合金。

7.根据权利要求5或6所述的力检测装置，其特征在于，

所述基部具有：连接于所述第二固定部的第一部件、接合于所述第一部件且与所述第一部件一起形成所述凹部的第二部件，

所述第一部件的杨氏模量比所述第二部件的杨氏模量低。

8.根据权利要求5所述的力检测装置，其特征在于，

所述传感器装置具有：设置于所述层叠体的侧面的多个侧面电极，

构成所述侧面电极的材料的至少一部分与构成所述电极的材料的至少一部分相同。

9.根据权利要求8所述的力检测装置，其特征在于，

多个所述侧面电极包括含有镍的第一层和含有金的第二层。

10.根据权利要求8或9所述的力检测装置，其特征在于，

所述传感器装置具有设置于所述封装的多个连接端子，

一个所述侧面电极电性连接于多个所述连接端子。

11.根据权利要求8或9所述的力检测装置，其特征在于，

所述传感器装置具有：设置于所述封装的多个连接端子，

一个所述侧面电极电性连接于一个所述连接端子。

12.根据权利要求10或11所述的力检测装置，其特征在于，

所述连接端子彼此的间隔距离比所述连接端子的宽度大。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的力检测装置，其特征在于，

所述压电元件含有晶体。

14.一种机器人，其特征在于，具备：

基台；以及

连接于所述基台且能安装权利要求1至13中任一项所述的力检测装置的臂部。