[发明专利]芯片测试装置在审
| 申请号： | 201810251089.7 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108459179A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 李康 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陈红;杜秀科 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片测试装置 芯片封装 盖板 槽口 插脚 测试电路板 几何参数 面积和 减小 卡扣 底座 测量 芯片 反馈 | ||
【权利要求书】：
1.一种芯片测试装置，包括：
底座，用于固定具有多个插脚的测试电路板；
盖板，具有面积和/或深度不同的多个槽口，用于固定尺寸不同的芯片。
2.如权利要求1所述的芯片测试装置，其中，芯片包括BGA-152、BGA-136、BGA-132的不同封装型号。
3.如权利要求1所述的芯片测试装置，其中，底座的侧壁上具有至少一个检测装置，用于测量盖板的水平度和/或盖板与底座侧壁的间距。
4.如权利要求3所述的芯片测试装置，其中，根据检测装置的输出信号，调节多个插脚的高度。
5.如权利要求3所述的芯片测试装置，其中，底座侧壁上具有至少一个夹持装置用于夹持盖板，以及根据检测装置的输出信号，调节夹持装置的夹持力。
6.如权利要求5所述的芯片测试装置，其中，采用受输出信号控制的弹簧或气缸实时调节夹持力。
7.如权利要求3所述的芯片测试装置，其中，盖板的侧壁具有反射性的多个对准标记。
8.如权利要求3所述的芯片测试装置，其中，至少一个检测装置围绕盖板的水平面形成检测环带。
9.如权利要求3所述的芯片测试装置，其中，检测装置为激光水平仪和/或测距仪。
10.如权利要求3所述的芯片测试装置，其中，根据检测装置的输出信号以及插脚高度，微调槽口的尺寸。
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