[发明专利]沉积掩模和使用该沉积掩模的沉积设备有效
申请号: | 201810233793.X | 申请日: | 2018-03-21 |
公开(公告)号: | CN108690951B | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 张锡洛;朴铉淑;金钟宪 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;刘久亮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 沉积 使用 设备 | ||
1.一种沉积掩模,该沉积掩模包括:
基底构件,该基底构件包括第一表面和第二表面,所述基底构件被划分成第一区域、第二区域和第三区域;
第一开口,该第一开口在所述第一区域中并且包括:
所述第一开口的第一表面孔,所述第一开口的所述第一表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第一表面,以及
所述第一开口的第二表面孔,所述第一开口的所述第二表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第二表面并且与所述第一开口的所述第一表面孔连通,
所述第一开口的所述第一表面孔的宽度朝着所述第一开口的所述第一表面孔和所述第一开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小,并且
所述第一开口的所述第二表面孔的宽度朝着所述第一开口的所述第一表面孔和所述第一开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小;
第二开口,该第二开口在所述第二区域中并且包括:
所述第二开口的第一表面孔,所述第二开口的所述第一表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第一表面,以及
所述第二开口的第二表面孔,所述第二开口的所述第二表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第二表面并且与所述第二开口的所述第一表面孔连通,
所述第二开口的所述第一表面孔的宽度朝着所述第二开口的所述第一表面孔和所述第二开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小,并且
所述第二开口的所述第二表面孔的宽度朝着所述第二开口的所述第一表面孔和所述第二开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小;以及
第三开口,该第三开口在所述第三区域中并且包括:
所述第三开口的第一表面孔,所述第三开口的所述第一表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第一表面,以及
所述第三开口的第二表面孔,所述第三开口的所述第二表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第二表面并且与所述第三开口的所述第一表面孔连通,
所述第三开口的所述第一表面孔的宽度朝着所述第三开口的所述第一表面孔和所述第三开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小,并且
所述第三开口的所述第二表面孔的宽度朝着所述第三开口的所述第一表面孔和所述第三开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小,
其中,所述第二开口的所述第一表面孔的两个侧表面的台阶高度彼此相等,
其中,所述第一开口中的所述第一表面孔的与所述第二开口相邻的侧表面的台阶高度小于所述第二开口中的所述第一表面孔的两个侧表面的台阶高度,
其中,所述第三开口中的所述第一表面孔的与所述第二开口相邻的侧表面的台阶高度小于所述第二开口中的所述第一表面孔的两个侧表面的台阶高度,并且
其中,所述第二区域位于所述第一区域和所述第三区域之间。
2.根据权利要求1所述的沉积掩模,其中,所述第一开口、所述第二开口和所述第三开口中的每一个具有沙漏形状的横截面。
3.根据权利要求2所述的沉积掩模,其中,所述第一区域中的所述第一开口的沙漏形状相对于所述基底构件的所述第二表面背离所述第二区域中的所述第二开口倾斜,并且
其中,所述第三区域中的所述第三开口的沙漏形状相对于所述基底构件的所述第二表面背离所述第二区域中的所述第二开口倾斜。
4.根据权利要求1所述的沉积掩模,其中,所述第一开口中的所述第一表面孔的深度小于所述第一开口中的所述第二表面孔的深度,
其中,所述第二开口中的所述第一表面孔的深度小于所述第二开口中的所述第二表面孔的深度,并且
其中,所述第三开口中的所述第一表面孔的深度小于所述第三开口中的所述第二表面孔的深度。
5.根据权利要求1所述的沉积掩模,其中,所述第一开口的最下部宽度比所述第一开口的最上部宽度宽,
其中,所述第二开口的最下部宽度比所述第二开口的最上部宽度宽,并且
其中,所述第三开口的最下部宽度比所述第三开口的最上部宽度宽。
6.根据权利要求1所述的沉积掩模,其中,所述第一开口的最上部宽度、所述第二开口的最上部宽度和所述第三开口的最上部宽度彼此相等。
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