[发明专利]基于金刚石NV色心的三轴加速度传感器在审
| 申请号： | 201810227003.7 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108469536A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;郭浩;唐军;石云波;赵锐;刘文耀;杜芳芳;王磊;阴世豪 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;武建云 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 色心 三轴加速度传感器 光谱 金刚石 外加磁场 方向施加磁场 荧光 数据处理系统 三维坐标轴 方向相关 共振频率 激光激发 敏感元件 设计目标 磁场 微波 测量 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于金刚石NV色心的三轴加速度传感器，其特征在于：包括金刚石（1）、PCB天线（2）、半导体激光器（3）、微波源（4）、光电探测器（5）、示波器（6）、滤光片（7）、平凸镜（8）、二向色镜（9）、物镜（10）、永磁铁（11）、弹簧（12）、固定台（13）及光路构成；
所述半导体激光器（3）发出的激光经二向色镜（9）和物镜（10）照射金刚石（1），微波源（4）产生的微波通过PCB天线（2）发射并作用于金刚石（1）NV色心上，NV色心激发态电子将与微波发生共振并发出的荧光依次经过物镜（10）、二向色镜（9）、平凸镜（8）、滤光片（7）后被光电探测器（5）收集，光电探测器（5）输出电信号至示波器（6）后显示出ODMR光谱；
所述固定台（13）内通过三个方向的弹簧（12）固定永磁体（11），所述永磁体（11）位于金刚石（1）后方。
2.根据权利要求1所述的基于金刚石NV色心的三轴加速度传感器，其特征在于：所述PCB天线（2）为Ω形微带天线，中心频率为2.87GHz。
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