[发明专利]缩短自动搬运系统作业时间的数据通信方法

说明书

本发明涉及一种缩短搬运物品作业时间的技术。即，针对自动搬运系统中无人移送装置与制造设备之间利用无线数据通信装置相互传输用于运输搬运物品的数据，在无人移送装置停留的状态下进行搬运物品的作业之前，或者在进行搬运物品的作业之后，无人移送装置在移动的过程中与制造设备传输数据，从而缩短搬运物品的作业时间。

技术领域

本发明涉及一种缩短搬运物品作业时间的技术。即，针对自动搬运系统中无人移送装置与制造设备之间利用无线数据通信装置相互传输用于运输搬运物品的数据，在无人移送装置停留的状态下进行搬运物品的作业之前，或者在进行搬运物品的作业之后，无人移送装置在移动的过程中与制造设备传输数据，从而能短搬运物品的作业时间。

背景技术

一般来说，在半导体元件或液晶显示器等设备的生产流程中，使用自动搬运系统(Automated Material Handling System:AMHS)将制造物品向各生产流程的制造设备移送，使相关物品按照各制造设备的工序完成制造。这种自动搬运系统利用无人移送装置将收纳有半导体基板或液晶基板的载体(carrier)向设置在生产流水线上的各制造设备移送，然后再将在相关制造设备中完成相应工序的物品重新收纳并向下一个流程的制造设备移送。

这种无人移送装置，根据移动方式的不同，包括：依靠车轮自动行使的AGV(Automated Guided Vehicle)；沿设置在地面上的导轨行使的RGV(Rail GuidedVehicle)；沿设置在天花板上的导轨行使的OHT(Overhead Hoist Transport)。这种无人移送装置分别在利用自身的车轮或者沿设置在地面上的导轨或沿设置在天花板上的导轨向相关制造设备移动后，再利用工作臂或升降机(hoist)及抓手将载体向相关制造设备运出/运进。

如上所述载体的运出/运进在对整条生产流水线进行控制的主控制器的控制下由分别搭载于无人移送装置和设置在生产流水线上各制造设备内的主机(host computer)执行，将载体运出/运进时，需要使无人移送装置和制造设备联动运转。因此，分别在无人移送装置与制造设备两侧设置利用IR(Infrared)的光通信方式传输装置，相互间传输必要的数据，从而顺利完成载体的运出/运进。

图1是对利用现有技术光通信方式自动搬运系统的通信系统进行说明的方框图，图2是对图1所示无人移送装置与制造设备之间的通信过程进行说明的示意图，图3是表示适用于图1的E84信号构成的示意图，图4是表示装载所需E84传送(hand off)程序的示意图，图5是表示卸载所需E84传送程序的示意图。

参照图1及图2可知，无人移送装置10包括无人车控制器12和第1通信单元11，制造设备20包括设备控制器22和第2通信单元21。在这种情况下，无人车控制器12利用无人车控制器12的第1通信单元11和设备控制器22的第2通信单元21并通过用于载体传送的协议即SEMI E84或与之类似的方式对载体进行移送。

即，当将搬运物品1在无人移送装置10和制造设备20之间进行移送时，第1通信单元11和第2通信单元21按照E84的作业顺序(sequence)彼此传送输入输出信号，并对搬运物品进行装载或卸载的装卸作业。

如图3所示，第1通信单元11和第2通信单元21传输由E84的作业顺序决定的8个输入信号和8个输出信号，通过图4和图5所示的过程执行负载端口(load port)的传送功能，即装载作业和卸载作业。

在这种情况下，第1通信单元11和第2通信单元21为了进行光通信，光轴必须处于一条直线上才能够实现。因此，必须在无人移送装置10停留在制造设备20的相关作业位置的状态下才能够完成图4或图5所示的装载作业或卸载作业。

例如，如果装载作业或卸载作业所需的总时间大约为10秒，则各无人移送装置10基本上会在制造设备20的相关作业位置停留10秒以上并运行一系列的自动搬运系统。