[发明专利]一种多功能的蚀刻装置

权利要求书

1.一种多功能的蚀刻装置，其特征在于：包括反应槽、多轴运动机械手臂、溢流槽、循环洁净单元、喷淋单元和入射单元，所述多轴运动机械手臂设置在反应槽上方，所述溢流槽设置在反应槽外部的四周，所述循环洁净单元用于抽取并过滤抽取的液体，喷淋单元设置在反应槽的槽口且喷淋方向指向反应槽的槽口，所述入射单元设置在反应槽的底部，循环洁净单元的第一进液口与反应槽底部连通，循环洁净单元的第二进液口与溢流槽底部连通，所述入射单元包括入射管和反射罩，所述反射罩上表面为设置通孔的平面，下表面为抛物面，所述入射管置于所述抛物面的抛物线所在的焦点处，所述入射管上设置有方向指向抛物面的入射孔，循环洁净单元的第二出液口与入射管连接。

2.根据权利要求1所述的一种多功能的蚀刻装置，其特征在于：所述喷淋单元包括两个相互平行的喷淋管，喷淋管设置在反应槽的槽口两侧，喷淋管上设置有一排喷淋口。

3.根据权利要求1所述的一种多功能的蚀刻装置，其特征在于：所述入射单元与循环洁净单元间设有流通方向指向入射单元的第一单向阀，所述反应槽底部与循环洁净单元间设有流通方向指向循环洁净单元的第二单向阀。

4.根据权利要求1所述的一种多功能的蚀刻装置，其特征在于：还包括超声波振荡单元，超声波振荡单元设置在反应槽的槽体壁上或者反射罩下表面壁上。

5.根据权利要求1所述的一种多功能的蚀刻装置，其特征在于：所述溢流槽的槽口设置有液位传感单元，所述液位传感单元用于采集溢流槽液位。

6.根据权利要求1所述的一种多功能的蚀刻装置，其特征在于：所述反应槽内设置有用于检测PH值的化学监控单元。

7.根据权利要求1所述的一种多功能的蚀刻装置，其特征在于：所述多轴运动机械手臂包括多轴运动机构、转动机构和机械手臂，多轴运动机构与转动机构连接，转动机构与机械手臂连接。