[发明专利]涂敷处理装置和杯体

权利要求书

1.一种涂敷处理装置，其在基板上涂敷涂敷液，所述涂敷处理装置的特征在于，包括：

保持基板并使该基板旋转的基板保持部；

对保持于该基板保持部的基板涂敷涂敷液的涂敷液供给部件；和

收纳所述基板保持部，从底部进行排气的杯体，

该杯体包括：

与保持于所述基板保持部的基板相比位于顶部侧，包围该基板的外周的气流控制部；

支承所述气流控制部的支承部；和

设置在所述杯体的外周部的周壁，

该支承部其一个端部与所述周壁的内周面连接，另一个端部连接有与所述一个端部相比位于顶部侧的所述气流控制部，并且，

在所述支承部设置有在与所述基板的旋转轴垂直的方向上穿透的形状的第1孔，在比该第1孔靠外侧下方的位置设置有在所述基板的旋转轴方向上穿透的形状的第2孔，

所述第1孔形成于所述支承部的与保持于所述基板保持部的基板的外周端相对的位置。

2.如权利要求1所述的涂敷处理装置，其特征在于：

所述第1孔的总面积比所述第2孔的总面积大。

3.如权利要求1或2所述的涂敷处理装置，其特征在于：

与保持于所述基板保持部的基板的外周端相对的位置，是从比所述基板的表面靠上侧0.8mm～4mm至比所述基板的表面靠下侧2mm～5mm的部分。

4.一种杯体，其形成为顶部开口的有底筒状，从底部进行排气，且能够收纳用于保持基板并使该基板旋转的基板保持部，所述杯体的特征在于，包括：

以规定的轴为中心的环状的气流控制部；

支承所述气流控制部的支承部；和

设置在所述杯体的外周部的周壁，

该支承部其一个端部与该杯体的内周面连接，与所述一个端部相比位于顶部侧的另一个端部与所述气流控制部连接，并且，

在所述支承部形成有在与所述规定的轴垂直的方向上穿透的形状的第1孔，在比该第1孔靠外侧的位置形成有在所述规定的轴的方向上穿透的形状的第2孔，

所述第1孔形成于所述支承部的与保持于所述基板保持部的基板的外周端相对的位置。