[发明专利]真空泵

说明书

本发明涉及一种真空泵，可减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。本发明的构造是在从涡轮排气部(TP)导入气体的螺杆槽排气部(SP)的导入路径中，通过带六角孔的螺栓(40)将螺杆定子(22)固定于基座(20)的上表面(20c)，所述带六角孔的螺栓(40)是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。本发明的真空泵能够减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。

技术领域

本发明涉及一种真空泵。

背景技术

以往，已知有如下真空泵，其包括：涡轮排气部，具有转子(rotor)叶片与定子(stator)叶片；以及螺杆槽排气部，具有导入来自涡轮排气部的气体的螺杆定子。

螺杆定子利用固定用的带头螺栓而安装于基座(base)。在从涡轮排气部导入气体的螺杆槽排气部的上部即螺杆定子的上表面，带头螺栓的头部从所述螺杆定子的上表面突出(例如参照专利文献1的图1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开2015-31151号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在从涡轮排气部导入气体的螺杆槽排气部的导入口，带头螺栓的头部从螺杆定子的上表面突出，因此，生成物会堆积于带头螺栓的头部的与泵旋转方向相向的侧面。即，从螺杆定子的上表面突出的带头螺栓的头部会阻碍气体流动。

解决问题的技术手段

本发明的优选的第一方式的真空泵包括：基座；转子轴(rotor shaft)，可旋转地设置于所述基座；转子，包括排列为多段的转子叶片与转子圆筒部，且安装于所述转子轴；固定叶片，配置在所述转子叶片之间，且与所述转子叶片一起构成涡轮排气部；定子，与所述转子圆筒部一起构成螺杆槽排气部；以及带六角孔的螺栓，在从所述涡轮排气部导入气体的所述螺杆槽排气部的导入路径中，将所述定子固定于所述基座的上表面，所述带六角孔的螺栓是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。

另外，本发明的优选的第二方式的真空泵包括：基座；转子轴，可旋转地设置于所述基座；转子，包括排列为多段的转子叶片与转子圆筒部，且安装于所述转子轴；固定叶片，配置在所述转子叶片之间，且与所述转子叶片一起构成涡轮排气部；定子，与所述转子圆筒部一起构成螺杆槽排气部；以及带六角孔的螺栓，在从所述涡轮排气部导入气体的所述螺杆槽排气部的导入路径中，将所述定子固定于所述基座的上表面，在所述定子的上表面中设置有沉孔，所述带六角孔的螺栓的头部的至少一部分配置在所述沉孔内。

在更优选的方式中，第二方式中的所述带六角孔的螺栓的头部全部配置在所述沉孔内。

在更优选的方式中，所述各方式中的所述带六角孔的螺栓的头部中所设置的六角孔的深度符合使用国或国际组织的规定。

在更优选的方式中，所述各方式中的所述定子的上表面包括设为向所述转子轴下降的梯度的斜面的区域，配置所述带六角孔的螺栓的所述定子的上表面为平坦面。

发明的效果

根据本发明，能够减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。

附图说明

图1是将涡轮分子泵作为例子来表示本发明的真空泵的第一实施方式的剖面图。

图2是图1的虚线II所示的区域的放大图。

图3是图2的螺杆定子固定部区域的放大图。

图4是从涡轮排气部侧观察得到的螺杆定子的一部分的平面图。

图5是表示第一实施方式的变形例1的图。