[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于包括：

基座；

转子轴，可旋转地设置于所述基座；

转子，包括排列为多段的转子叶片与转子圆筒部，且安装于所述转子轴；

固定叶片，配置在所述转子叶片之间，且与所述转子叶片一起构成涡轮排气部；

定子，与所述转子圆筒部一起构成螺杆槽排气部；以及

带六角孔的螺栓，在从所述涡轮排气部导入气体的所述螺杆槽排气部的导入路径中，将所述定子固定于所述基座的上表面，

所述带六角孔的螺栓是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述带六角孔的螺栓的头部中所设置的六角孔的深度符合使用国或国际组织的规定。

3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述定子的上表面包括设为向所述转子轴下降的梯度的斜面的区域，配置所述带六角孔的螺栓的所述定子的上表面为平坦面。

4.一种真空泵，其特征在于包括：

基座；

转子轴，可旋转地设置于所述基座；

转子，包括排列为多段的转子叶片与转子圆筒部，且安装于所述转子轴；

固定叶片，配置在所述转子叶片之间，且与所述转子叶片一起构成涡轮排气部；

定子，与所述转子圆筒部一起构成螺杆槽排气部；以及

带六角孔的螺栓，在从所述涡轮排气部导入气体的所述螺杆槽排气部的导入路径中，将所述定子固定于所述基座的上表面，

在所述定子的上表面中设置有沉孔，

所述带六角孔的螺栓的头部的至少一部分配置在所述沉孔内。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于：

所述带六角孔的螺栓的头部全部配置在所述沉孔内。

6.根据权利要求4或5所述的真空泵，其特征在于：

所述带六角孔的螺栓的头部中所设置的六角孔的深度符合使用国或国际组织的规定。

7.根据权利要求4或5所述的真空泵，其特征在于：

所述定子的上表面包括设为向所述转子轴下降的梯度的斜面的区域，配置所述带六角孔的螺栓的所述定子的上表面为平坦面。