[发明专利]衍射光学元件及其制造方法、激光投射模组、深度相机与电子装置

说明书

本发明的衍射光学元件的制造方法包括：提供一石英玻璃制成的基材；及，蚀刻所述基材以在所述基材上形成多个多阶梯型的衍射凹槽。本发明实施方式的衍射光学元件的制造方法通过蚀刻的方式在由石英玻璃制成的基材上形成多个多阶梯型的衍射凹槽以得到衍射光学元件，由于采用蚀刻的方式形成衍射凹槽对基材的强度影响较小，因而采用蚀刻方式形成的衍射光学元件的强度较大。另外，由于基材由石英玻璃制成，衍射光学元件受温度影响较小，产生的温漂较小。本发明还公开了衍射光学元件、激光投射模组、深度相机及电子装置。

技术领域

本发明涉及消费性电子产品技术领域，特别涉及一种衍射光学元件的制造方法、衍射光学元件、激光投射模组、深度相机及电子装置。

背景技术

由于衍射光学元件上的衍射结构比较复杂，从而导致衍射光学元件的制造工序较多及制造难度较大，进而导致衍射光学元件的制造效率较低及制造成本较高。

发明内容

本发明的实施方式提供了一种衍射光学元件的制造方法、衍射光学元件、激光投射模组、深度相机及电子装置。

本发明实施方式的衍射光学元件的制造方法包括：

提供一石英玻璃制成的基材；及

蚀刻所述基材以在所述基材上形成多个多阶梯型的衍射凹槽。

本发明实施方式的衍射光学元件的制造方法通过蚀刻的方式在由石英玻璃制成的基材上形成多个多阶梯型的衍射凹槽以得到衍射光学元件，由于采用蚀刻的方式形成衍射凹槽对基材的强度影响较小，因而采用蚀刻方式形成的衍射光学元件的强度较大。另外，由于基材由石英玻璃制成，衍射光学元件受温度影响较小，产生的温漂较小。

在某些实施方式中，所述基材包括正面，所述蚀刻所述基材以在所述基材上形成多个多阶梯型的衍射凹槽的步骤包括：

在所述正面形成光刻胶；

在所述光刻胶上形成多个胶凹槽，所述胶凹槽贯穿所述光刻胶；

蚀刻多个所述胶凹槽对应的所述基材以在所述基材上形成多个基材凹槽；

去除所述光刻胶；

重复执行所述在所述正面形成光刻胶、所述在所述光刻胶上形成多个胶凹槽、所述蚀刻多个所述胶凹槽对应的所述基材、及所述去除所述光刻胶以在所述基材上形成所述衍射凹槽。

本发明实施方式的衍射光学元件包括由石英玻璃制成的基材，所述基材通过蚀刻形成有多个多阶梯型的衍射凹槽。

在某些实施方式中，所述基材包括正面，所述衍射凹槽通过重复执行所述在所述正面形成光刻胶、所述在所述光刻胶上形成多个胶凹槽、所述蚀刻多个所述胶凹槽对应的所述基材、及所述去除所述光刻胶形成。

本发明实施方式的激光投射模组包括：

镜筒，所述镜筒包括镜筒侧壁并开设有收容腔；

光源，所述光源收容在所述收容腔内并用于发射激光；及

准直元件，所述准直元件收容在所述收容腔内并用于准直所述光源发射的激光；及

上述任意一项实施方式所述的衍射光学元件，所述衍射光学元件收容在所述收容腔内，所述衍射凹槽朝向所述光源，所述衍射光学元件用于衍射所述准直元件准直后的激光以形成激光图案。

在某些实施方式中，所述光源包括垂直腔面发射激光器或边发射激光器。

在某些实施方式中，所述光源包括边发射激光器，所述边发射激光器包括发光面，所述发光面朝向所述准直元件。

在某些实施方式中，所述激光投射模组还包括电路板组件和固定件，所述固定件用于固定所述光源在所述电路板组件上。