[发明专利]衍射光学元件及其制造方法、激光投射模组、深度相机与电子装置

权利要求书

1.一种衍射光学元件的制造方法，其特征在于，包括：

提供一石英玻璃制成的基材；及

蚀刻所述基材以在所述基材上形成多个多阶梯型的衍射凹槽。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述基材包括正面，所述蚀刻所述基材以在所述基材上形成多个多阶梯型的衍射凹槽的步骤包括：

在所述正面形成光刻胶；

在所述光刻胶上形成多个胶凹槽，所述胶凹槽贯穿所述光刻胶；

蚀刻多个所述胶凹槽对应的所述基材以在所述基材上形成多个基材凹槽；

去除所述光刻胶；及

重复执行所述在所述正面形成光刻胶、所述在所述光刻胶上形成多个胶凹槽、所述蚀刻多个所述胶凹槽对应的所述基材、及所述去除所述光刻胶以在所述基材上形成所述衍射凹槽。

3.一种衍射光学元件，其特征在于，包括由石英玻璃制成的基材，所述基材通过蚀刻形成有多个多阶梯型的衍射凹槽。

4.根据权利要求3所述的衍射光学元件，其特征在于，所述基材包括正面，所述衍射凹槽通过重复执行所述在所述正面形成光刻胶、所述在所述光刻胶上形成多个胶凹槽、所述蚀刻多个所述胶凹槽对应的所述基材、及所述去除所述光刻胶形成。

5.一种激光投射模组，其特征在于，包括：

镜筒，所述镜筒包括镜筒侧壁并开设有收容腔；

光源，所述光源收容在所述收容腔内并用于发射激光；及

准直元件，所述准直元件收容在所述收容腔内并用于准直所述光源发射的激光；及

权利要求3或4所述的衍射光学元件，所述衍射光学元件收容在所述收容腔内，所述衍射凹槽朝向所述光源，所述衍射光学元件用于衍射所述准直元件准直后的激光以形成激光图案。

6.根据权利要求5所述的激光投射模组，其特征在于，所述光源包括垂直腔面发射激光器或边发射激光器。

7.根据权利要求5所述的激光投射模组，其特征在于，所述光源包括边发射激光器，所述边发射激光器包括发光面，所述发光面朝向所述准直元件。

8.根据权利要求7所述的激光投射模组，其特征在于，所述激光投射模组还包括电路板组件和固定件，所述固定件用于固定所述光源在所述电路板组件上。

9.根据权利要求8所述的激光投射模组，其特征在于，所述固定件包括封胶，所述封胶设置在所述边发射激光器与所述电路板组件之间，所述封胶为导热胶。

10.根据权利要求8所述的激光投射模组，其特征在于，所述固定件包括设置在所述电路板组件上的至少两个弹性支撑架，至少两个所述支撑架共同形成收容空间，所述收容空间用于收容所述光源，至少两个所述支撑架用于支撑住所述光源。

11.一种深度相机，其特征在于，包括：

权利要求5-10任意一项所述的激光投射模组；

图像采集器，所述图像采集器用于采集由所述激光投射模组向目标空间中投射的所述激光图案。

12.一种电子装置，其特征在于，包括：

壳体；和

权利要求11所述的深度相机，所述深度相机设置在所述壳体上并从所述壳体上暴露以获取所述深度图像。