[发明专利]绝缘结构

权利要求书

1.一种绝缘结构，将设置于离子注入装置的真空区域内部的第1电极与第2电极绝缘并支承，所述绝缘结构的特征在于，具备：第1绝缘部件，将所述第1电极支承于所述第2电极；第2绝缘部件，为了减少污染粒子向所述第1绝缘部件的附着而相对于所述第1绝缘部件以具有游隙的方式嵌合；及保护部件，为了保护所述第2绝缘部件免受污染粒子的影响而环绕所述第2绝缘部件的至少一部分，所述第2绝缘部件包括环绕所述第1绝缘部件的至少一部分的筒状的部分，所述筒状的部分与所述第1绝缘部件之间的间隙被作为所述游隙，所述第2绝缘部件由硬度比所述第1绝缘部件低的材料、且是包含氮化硼及多孔陶瓷中的至少一种的材料形成，所述第2绝缘部件在经由所述保护部件而被所述第1电极及所述第2电极夹着的状态下被支承。

2.根据权利要求1所述的绝缘结构，其特征在于，所述第2绝缘部件的外表面的维氏硬度为5GPa以下。

3.根据权利要求1或2所述的绝缘结构，其特征在于，所述第2绝缘部件的弯曲强度为100MPa以下。

4.根据权利要求1或2所述的绝缘结构，其特征在于，所述第2绝缘部件的所述筒状的部分与所述第1绝缘部件之间的间隙为1mm以下。

5.根据权利要求1或2所述的绝缘结构，其特征在于，所述游隙为0.2mm以上。

6.根据权利要求1或2所述的绝缘结构，其特征在于，所述第2绝缘部件包括能够分离的多个部分，所述多个部分嵌合于所述第1绝缘部件的分别不同的部位。

7.根据权利要求1或2所述的绝缘结构，其特征在于，所述第1绝缘部件及所述第2绝缘部件设置在用于从等离子体生成部引出离子束的多个电极之间。