[发明专利]单边下片机

说明书

本发明公开了一种单边下片机，其包括硅片传输机构、检测机构和送片机构，所述硅片传输机构包括呈矩阵设置的第一传送件，位于第一排的所述第一传送件呈横向传输设置，其余排的所述第一传送件呈纵向传输设置，呈纵向传输设置的最后一排的第一传送件对接上一工位传输出的硅片，所述第一传送件上设置有识别单元，对应所述识别单元还设置有一回收盒；所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中；所述送片机构具有第二传送件，所述第二传送件分别与一载具和所述硅片传输机构对接。综上，本发明的单边下片机能够为工作人员提供调试空间并实现硅片的下片和检测全自动，且提高工作效率。

技术领域

本发明涉及光伏制造领域，尤其涉及一种单边下片机。

背景技术

在光伏产业链中，太阳能电池制造是核心环节，目前太阳能电池主要采用硅太阳能电池，制造硅太阳能电池的一般方法是首先将表面干净的P型或者N型硅片首先经过制绒工序形成绒面结构；其次在硅片表面扩散制结，形成N+或者P+的发射极，经过湿法刻蚀去掉硅片侧面和背面的扩散层；然后在其正表面再形成一层具有减反射功能的SiN薄膜；最后在硅片正背面分别制作金属电极，经过烧结过程形成晶硅太阳能电池。其中，扩散制结时产生杂质磷或硼，磷或硼会不可避免的扩散至硅片侧面和背面，最终导致短路。因此，必须对太阳能电池硅片侧面和背面的掺杂硅进行刻蚀，以去除硅片侧面和背面的扩散层。同时扩散制结还会在扩散层表面形成磷硅或硼硅玻璃，影响电池效率，因此也需要去除。生产中常用的湿法刻蚀工艺进行硅片的清洗，湿法刻蚀一般采用氢氟酸、硝酸和硫酸的混合液去除硅片各个表面的磷硅或硼硅玻璃并且去除电池侧面和背面的扩散层，因此硅片在湿法刻蚀工艺前后的重量存在差异。然而传统的生产工艺中，硅片在双边下片机的传输下直接进入湿法工艺池进行刻蚀，刻蚀结束后直接从双边下片机直接运走，这种下片机不仅没有设置称重单元进行抽样检查，也无法为称重单元提供检测空间。另外，由于双边下片机的在两边设置下片的传输机构，从而无法为工作人员提供足够的查看和调整的空间，如果称重单元发现硅片不符合标准，工作人员也无法对机器进行近距离查看并立刻进行调试，因此，这样的结构不仅无法实现下片、称重等全自动且高效率的运输，还大大降低了硅片的合格率，从而导致电池漏电等一系列不良现象，无法满足现有的生产需求。

因此，急需要一种能够为工作人员提供调试空间，并实现下片和检测全自动且高效的单边下片机来克服上述的缺陷。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种能够为工作人员提供调试空间，并实现下片和检测全自动且高效的单边下片机。

为了实现上述目的，本发明公开了一种单边下片机，适用于对上一工位的硅片进行传输和抽样检测，其包括硅片传输机构、检测机构和送片机构，所述硅片传输机构包括呈矩阵设置的第一传送件，位于第一排的所述第一传送件呈横向传输设置，其余排的所述第一传送件呈纵向传输设置，呈纵向传输设置的最后一排的所述第一传送件对接上一工位传输出的硅片，所述硅片传输机构的第一传送件上设置有用于检测硅片完整情况的识别单元，对应所述识别单元还设置一与所述第一传送件对接的回收盒；所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中；所述送片机构具有可伸缩的第二传送件，所述第二传送件两端分别对应与一载具和所述硅片传输机构对接，所述第二传送件伸入所述载具内将所述硅片传输机构上的硅片逐一存入所述载具。