[发明专利]单边下片机

权利要求书

1.一种单边下片机，适用于对上一工位的硅片进行传输和抽样检测，其特征在于：所述单边下片机包括：

硅片传输机构，所述硅片传输机构包括呈矩阵设置的第一传送件，位于第一排的所述第一传送件呈横向传输设置，其余排的所述第一传送件呈纵向传输设置，呈纵向传输设置的最后一排的所述第一传送件对接上一工位传输出的硅片，所述硅片传输机构的第一传送件上设置有用于检测硅片完整情况的识别单元，对应所述识别单元还设置一与所述第一传送件对接的回收盒；

检测机构，所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中；

送片机构，所述送片机构具有可伸缩的第二传送件，所述第二传送件两端分别对应与一载具和所述硅片传输机构对接，所述第二传送件伸入所述载具内将所述硅片传输机构上的硅片逐一存入所述载具。

2.如权利要求1所述的单边下片机，其特征在于：所述检测机构包括吸附件及检测单元，所述吸附件选择性的从所述第一传送件上吸附硅片并传输至所述检测单元上进行检测。

3.如权利要求2所述的单边下片机，其特征在于：所述检测单元为测量硅片重量的称重仪。

4.如权利要求3所述的单边下片机，其特征在于：所述检测机构还包括用于称重时将外界与硅片隔开的罩子。

5.如权利要求1所述的单边下片机，其特征在于：所述检测机构还包括第一控制器和用于提醒检测人员进行调试的报警装置，所述第一控制器分别与所述检测单元和报警装置电性连接。

6.如权利要求1所述的单边下片机，其特征在于：还包括用于驱动所述载具升降的升降台，藉由所述升降台的升降使得所述第二传送件伸入所述升降台上的载具内逐一存入硅片。

7.如权利要求6所述的单边下片机，其特征在于：还包括载具传输机构，所述载具藉由所述载具传输机构传输至所述升降台。

8.如权利要求7所述的单边下片机，其特征在于：所述载具传输机构包括至少两相互平行且依次呈叠加状设置的第三传送件，所述升降台可升降于最上的第三传送件与最下的第三传送件之间，所述载具藉由所述第三传送件传输至所述升降台上。

9.如权利要求8所述的单边下片机，其特征在于：所述载具传输机构还包括用于调节所述第三传送件张紧程度的传动结构，所述传动结构包括支架、主动轮及从动轮，所述主动轮枢接于所述支架上，所述从动轮卡合于所述支架，调节所述主动轮和从动轮之间的距离从而调节所述第三传送件的张紧程度。

10.如权利要求9所述的单边下片机，其特征在于：所述从动轮包括轮体和转轴，所述轮体枢接于所述转轴上，所述转轴的端部具有朝轴心凹陷形成的切削面，两所述切削面共面，所述转轴的端部呈可拆卸的卡合于所述支架上，藉由改变所述切削面于所述支架上的卡合位置可调节所述主动轮与所述传动轮之间的距离。

11.如权利要求1所述的单边下片机，其特征在于：还包括可升降的缓存机构，所述缓存机构内呈平行的设置有若干供硅片插入的第一插槽，所述缓存机构设置于所述硅片传输机构与所述载具之间，所述硅片传输机构将硅片逐一插入所述第一插槽内，所述第二传送件逐一将所述第一插槽内的硅片传输至所述载具内。

12.如权利要求11所述的单边下片机，其特征在于：还包括导向机构，所述导向机构对称地设置于所述第二传送件的两侧以校正硅片的位置。

13.如权利要求12所述的单边下片机，其特征在于：所述缓存机构的输入端和输出端均设置有所述导向机构。

14.如权利要求1所述的单边下片机，其特征在于：所述硅片传输机构还包括顶升结构，所述顶升结构与位于第一排的所述第一传送件连接，并控制驱动位于第一排的所述第一传送件升降。