[发明专利]部件搭载装置以及部件搭载方法

说明书

本发明提供部件搭载装置以及部件搭载方法。利用由吸嘴借助负压保持部件的搭载头将部件搭载于基板，具备流路切换部和部件检测部，该流路切换部将吸嘴的吸引路选择性地与负压源和正压源连接，流路切换部在部件搭载时将吸嘴从负压流路切换成正压流路，朝吸嘴导入正压而使部件从该吸嘴脱离，在利用部件检测部进行部件的检测之前将该吸嘴的吸引路与负压流路连接而导入负压，该部件检测部对存在于吸嘴的前端的部件进行检测。

技术领域

本公开涉及利用负压保持部件并将该部件搭载于工件的规定的搭载位置的部件搭载装置以及部件搭载方法。

背景技术

在基板等工件搭载部件的部件搭载装置中，使用具备利用负压吸引并保持部件的吸嘴的搭载头。在这样的利用负压保持部件的吸嘴中，存在产生所谓的带回部件的情况，即，即便保持有部件的搭载头向工件移动且在搭载位置处为了使部件从吸嘴脱离而释放负压，部件也未从吸嘴的端部正常地脱离，在吸嘴附着有部件的状态下使搭载头返回。如果原封不动地放置这样的带回部件，则会在基于搭载头的下一个部件取出动作中导致动作错误，因此以往提出了用于应对带回部件产生的各种策略(例如参照日本特开2005-064366号公报、日本特开2006-165302号公报、日本特开2010-129606号公报、日本特开2015-95586号公报)。

在日本特开2005-064366号公报所示的例子中，在示教画面中选择恢复动作，以便能够根据状况适当地进行带回部件等的错误产生时的应对。在日本特开2006-165302号公报所示的例子中，设置微小部件专用的部件回收工作台，以便可靠地进行带回部件这样的微小部件的回收。在日本特开2010-129606号公报所示的例子中，沿着吸嘴的环绕路径配置废弃带回部件的废弃单元以减少废弃所需的时间。此外，在日本特开2015-95586号公报所示的例子中，即便因带回部件等而产生部件落下的错误，也能够继续进行生产并仅将产生了错误的该基板在下游的基板检查工序中设为检查对象。

发明内容

本公开的部件搭载装置具备：搭载头，其具有朝吸引路导入负压而保持部件的吸嘴，将由所述吸嘴保持的部件搭载于工件的规定的搭载位置；流路切换部，其将所述吸引路选择性地连接到与负压源连通的负压流路和与正压源连通的正压流路；以及部件检测部，其对存在于所述吸嘴的前端的部件进行检测，所述流路切换部在部件搭载时将吸嘴的吸引路从与所述负压流路连接的状态切换成与所述正压流路连接的状态，由此朝吸引路导入正压而使部件从所述吸嘴脱离，在利用所述部件检测部进行部件的检测之前将所述吸引路与所述负压流路连接而导入负压，在利用所述部件检测部检测到附着于搭载了部件后的所述吸嘴的带回部件的情况下，在规定的部件回收位置处废弃所述带回部件。

本公开的部件搭载方法包含：朝吸嘴的吸引路导入负压而保持部件；朝所述吸嘴的吸引路导入正压而使部件从吸嘴脱离，从而将该部件搭载于工件的规定的搭载位置；在部件检测部中对附着于搭载了部件后的吸嘴的带回部件进行检测；以及在检测到带回部件的情况下，在规定的部件回收位置处废弃该部件，在利用所述部件检测部进行带回部件的检测之前朝所述吸引路导入负压。

本公开的部件搭载装置具备：搭载头，其具有朝吸引路导入负压而保持部件的多个吸嘴，使多个吸嘴朝多个工作台依次移动，该多个工作台包括供所述吸嘴进行保持部件或者将所保持的部件搭载于工件的规定的搭载位置的动作的部件保持及搭载工作台、以及进行由吸嘴保持的部件的检测的部件检测工作台；多个流路切换部，其按照每个所述吸嘴而配置，将吸嘴的吸引路选择性地切换至与负压源连通的负压流路和与正压源连通的正压流路；以及部件检测部，其在所述部件检测工作台处对存在于吸嘴的前端的部件进行检测，在所述部件保持及搭载工作台处吸嘴进行搭载部件的作业的情况下，所述流路切换部将进行搭载部件的作业的吸嘴的吸引路从与所述负压流路连接的状态切换成与所述正压流路连接的状态，由此朝吸引路导入正压，使部件从吸引路被导入了正压的吸嘴脱离，并且，所述流路切换部在所述吸引路被导入了正压的吸嘴到达所述部件检测工作台之前，将所述吸引路与所述负压流路连接而导入负压，在利用所述部件检测部检测到附着于搭载了部件后的所述吸嘴的带回部件的情况下，在规定的部件回收位置处废弃该部件。